English

Ass Präzisiounsgranit dat bescht Material fir Komponenten vun der Hallefleiterlithographie?

Wéinst senger net-magnetescher Natur, héijer Steifheet a bal null thermescher Ausdehnung ass Präzisiounsgranit dat essentiellt Material fir eng Präzisioun op Nanometerniveau an der Lithographie a Metrologie ze garantéieren.

Net-magnetesch a chemesch Stabilitéit

An den elektromagneteschen Ëmfeld mat héijer Intensitéit vun der Hallefleederfabrikatioun,Granitkomponentenverhënneren Interferenzen duerch seng net-magnetesch Eegeschaften. Ausserdeem ass Granit chemesch inert a gëtt keng Gaser of a produzéiert keng Partikelen, wat en perfekt fir ISO Klass 1 Reinigungsumgebungen mécht.

Ultimativ kierperlech Steifheet a Kriechwidderstand

De schwaarze Granit mat héijer Dicht, dee vum ZHHIMG ausgewielt gouf, bitt extrem Häert. Ënner laangfristeger Belaaschtung weist en praktesch kee kierperlecht Schleifen op, wat eng permanent stabil Basis fir XY-Stufen bitt a konsequent widderhuelbar Positionéierungsgenauegkeet iwwer Jore vum Betrib garantéiert.

Natierleche Virdeel an der thermescher Expansioun

Hallefleiterprozesser si ganz empfindlech op Hëtzt. De niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung vu Granit kompenséiert d'Hëtzt, déi vu Präzisiounsmotoren generéiert gëtt. Zesumme mat eiser héichpräziser Bearbechtung garantéiert dat, datt d'Komponenten hir geometresch Integritéit bei verschiddenen Operatiounstemperaturen behalen.

Granitkomponenten mat héijer Stabilitéit

Materialleistungsmatrix

Immobilie Schwaarze Granit (Jinan Schwaarz) Fortgeschratt Keramik Aluminiumlegierung
Dicht (g/cm³) 3.07 3,6 – 3,9 2.7
Elastizitéitsmodul (GPa) 95 – 100 300+ 70
Thermesch Expansioun 5,0 – 7,0 (10⁻⁶/K) 4.0 – 8.0 23.0

FAQ: Präzisiounsgranit

  1. Firwat soll een "schwaarze" Granit wielen? En huet eng méi héich Dicht, eng méi niddreg Waasserabsorptioun a besser Stabilitéit wéi groe Granit.

  2. Wéi eng Präzisiounsqualitéiten bitt Dir un? Mir produzéieren bis zu den DIN 876 Grad 000 Standarden.

  3. Wat ass déi maximal Gréisst? ZHHIMG kann eenzel Stécker bis zu 12 Meter laang veraarbechten.

  4. Wéi pflegen ech Granitkomponenten? Benotzt speziell pH-neutral Botzmëttel a vermeit de Kontakt mat sauren Substanzen.

  5. Kënnt Dir Lächer fir Asätz bueren? Jo, mir bidden Präzisiounsbuerungen a sekundär Verbindung fir Asätz aus Edelstol.

  6. Ass et gëeegent fir Vakuumgebrauch? Absolut, natierleche Granit vergast net ënner Vakuumbedingungen.

Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 29. Mee 2026