Granit-Loftlagersystemer gi wäit verbreet aultra-PrezisiounBewegungsplattforme fir d'Hallefleederproduktioun, optesch Ausriichtung a Metrologie op Nanometerniveau.
Dës Systemer eliminéieren mechanesche Kontakt andeems se e dënnen Drockloftfilm benotzen, wat eng bal Reibungsfräiheet erméiglecht.
Prinzip vun der Loftlagerung
Loftlager funktionéieren andeems Drockloft tëscht zwou Flächen agefouert gëtt, wouduerch e Loftfilm vun 2–20 μm entsteet.
Dëst eliminéiert:
- Mechanesch Reibung
- Droen
- Verhalen a Schleppverhalen
De System baséiert op der Dynamik vum Flëssegkeetsfilm an enger stabiler laminarer Stréimung.
Roll vum Granit
Granit bitt:
- Strukturell Stabilitéit
- Ënnerdréckung vun der thermescher Drift
- Schwéngungsdämpfung
Et déngt als mechanesch Referenzbasis fir de Bewegungssystem.
Systemkomponenten
- Granitbasis
- Loftlagerpolster
- Loftversuergungssystem
- Präzisiouns-Encoder
- Bewegungskontrollsystem
Leeschtungseigenschaften
Typesch Leeschtung ëmfaasst:
- Submikron-Positionéierungsgenauegkeet
- Héich Geriichtheet iwwer laang Rees
- Null mechanesch Réckschlag
Schlësselfehlerquellen sinn Loftdrockinstabilitéit, thermesch Drift a Encoderfehler.
Uwendungen
- Inspektioun vu Hallefleiterwaferen
- Lithographiesystemer
- Optesch Ausriichtungsplattformen
- High-End Metrologiemaschinnen
FAQ
Sinn Loftlager ofgenotzt?
Kee mechanesche Kontakt eliminéiert Verschleiung.
Firwat Granit benotzen?
Fir Stabilitéit a Schwéngungsdämpfung.
Wat limitéiert d'Genauegkeet?
Loftstabilitéit an thermesch Effekter.
Kënne si schwéier Laaschten droen?
Jo, ofhängeg vum Design.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 03. Juli 2026