Ultrapräzis Granitbasis fir Waferinspektioun & Metrologie

1. Iwwerleeën Materialwëssenschaft: ZHHIMG® Schwaarze Granit

Am Géigesaz zu Standardgranit oder, nach méi schlëmm, Marmer vun enger méi niddereger Qualitéit, dee vu manner skrupellosen Hiersteller benotzt gëtt, sinn ZHHIMG-Sockel exklusiv aus eisem propriétaire ZHHIMG® Black Granite hiergestallt.

● Aussergewéinlech Dicht: Eist Material huet eng beandrockend Dicht vun ≈ 3100 kg/m³, wat vill konventionell schwaarz Graniten aus Europa an Amerika besser mécht.

● Thermesch Stabilitéit: Déi héich Dicht an déi minimal Waasserabsorptioun garantéieren eng iwwerleeën Dimensiounsstabilitéit, wouduerch den Impakt vun der thermescher Drift während kriteschen Inspektiounszyklen däitlech reduzéiert gëtt.

● Schwéngungsdämpfung: Déi natierlech Mineralstruktur suergt fir eng aussergewéinlech intern Dämpfung, déi essentiell ass fir sensibel Optik a Sensoren vun externen Schwéngungen ze isoléieren.

2. Onvergleichlech Produktiouns- a Montagefäegkeeten

Eis Engagement fir Präzisioun gëtt duerch eis Käriwwerzeegung zesummegefaasst: "De Präzisiounsgeschäft däerf net ze usprochsvoll sinn."

● Meeschterhandwierk: Eis Sockel gi vun Techniker mat der Hand gelappt, vill dovunner mat iwwer 30 Joer Erfahrung, déi eng Uewerflächenflaachheet a Parallelitéit bis op den Nanometerniveau erreeche kënnen - Präzisioun, déi vu Renishaw Laserinterferometer a WYLER elektronesche Niveauen verifizéiert gëtt.

● Kontrolléiert Ëmfeld: D'Veraarbechtung an d'Endmontage ginn an eisem 10.000 m² groussen, temperatur- a fiichtegkeetskontrolléierte Cleanroom duerchgefouert (deen déi strikt Halbleiterfabrikatiounsbedingungen simuléiert). Dës Anlag huet eng 1000 mm déck Betonfundament an 2000 mm déif Antivibratiounsgräben, déi eng wierklech stabil Metrologieëmfeld garantéieren.

3. Integréiert Präzisiounsdesign (wéi op der Bild gewisen)

D'Basis gëtt typescherweis als eng komplex Baugrupp geliwwert, déi dacks folgendes enthält:

● L-fërmeg/Gantry-Strukturen: Entworf fir déi vertikal Bewegung (Z-Achs) vun den Imaging-Käpp z'ënnerstëtzen, wouduerch Orthogonalitéit a geometresch Genauegkeet garantéiert ginn.

● Präzisiounsnuten & -asätz: Virbearbechte Flächen mat Gewënnstahlasätz a Präzisiounsdübellächer fir d'Montage vu Loftlager, Linearmotoren (XY-Dësch), Visiounssystemer a Führungsschinnen (THK, HIWIN, Rexroth).

● Personnaliséierung: Mir spezialiséieren eis op groussflächeg Bearbechtung a kënne monolithesch Granitfundamenter mat enger Längt vu bis zu 20 m an engem Gewiicht vun 100 Tonnen liwweren, präzis op Är Ausrüstung ugepasst.