♦Aluminiumoxid (Al2O3)
Déi präzis Keramikdeeler, déi vun der ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) produzéiert ginn, kënnen aus héichreine Keramikréimaterialien, 92~97% Aluminiumoxid, 99,5% Aluminiumoxid, >99,9% Aluminiumoxid, a CIP-Kaltisostatesche Pressen hiergestallt ginn. Héichtemperatur-Sinteren a Präzisiounsbearbechtung, Dimensiounsgenauegkeet vun ± 0,001 mm, Gläichheet bis zu Ra0,1, Benotzungstemperatur bis zu 1600 Grad. Verschidde Faarwen vun der Keramik kënnen no de Wënsch vun de Clienten hiergestallt ginn, wéi zum Beispill: schwaarz, wäiss, beige, donkelrout, etc. Déi präzis Keramikdeeler, déi vun eiser Firma produzéiert ginn, si resistent géint héich Temperaturen, Korrosioun, Verschleiung an Isolatioun, a kënne laang Zäit an héijen Temperaturen, Vakuum a korrosiven Gasëmfeld benotzt ginn.
Vill benotzt an enger Villfalt vun Hallefleederproduktiounsausrüstung: Rahmen (Keramikhalterung), Substrat (Basis), Aarm/Bréck (Manipulator), mechanesch Komponenten a Keramik-Loftlager.
Produktnumm | Héichreinheet 99 Aluminiumoxid Keramik Quadratröhrchen / Päif / Staang | |||||
Index | Eenheet | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Dicht | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Waasserabsorptioun | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintertemperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Häert | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Biegefestigkeit (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Kompressiounsstäerkt | Kilogramm/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Laangzäiteg Aarbechtstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maximal Aarbechtstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenwiderstand | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Uwendung vun héichreineger Aluminiumoxidkeramik:
1. Uwendbar op Hallefleederausrüstung: Keramik-Vakuumfutter, Schneidscheif, Botzscheif, Keramikfutter.
2. Wafer-Transferdeeler: Wafer-Handhabungsfutter, Wafer-Schneidescheiwen, Wafer-Reinigungsscheiwen, Saugnäppchen fir optesch Wafer-Inspektioun.
3. LED/LCD-Flaachbildschiermindustrie: Keramikdüse, Keramikschleifscheif, LIFT PIN, PIN-Schinn.
4. Optesch Kommunikatioun, Solarindustrie: Keramikréier, Keramikstangen, Keramikschraber fir Leiterplatten, Siebdruck.
5. Hëtzebeständeg an elektresch isoléierend Deeler: Keramiklager.
Aktuell kann Aluminiumoxid-Keramik a reng a gängeg Keramik agedeelt ginn. D'Aluminiumoxid-Keramikserie mat héijer Rengheet bezitt sech op dat Keramikmaterial, dat méi wéi 99,9% Al₂O₃ enthält. Wéinst senger Sintertemperatur vu bis zu 1650 - 1990°C an senger Transmissiounswellelängt vun 1 ~ 6μm gëtt et normalerweis a geschmolzene Glas amplaz vu Platin-Tigel veraarbecht: dat wéinst senger Liichttransmissioun a Korrosiounsbeständegkeet géint Alkalimetaller als Natriumréier benotzt ka ginn. An der Elektronikindustrie kann et als Héichfrequenz-Isolatiounsmaterial fir IC-Substrater benotzt ginn. Jee no dem verschiddenen Aluminiumoxidgehalt kann déi gängeg Aluminiumoxid-Keramikserie a 99 Keramik, 95 Keramik, 90 Keramik an 85 Keramik agedeelt ginn. Heiansdo gëtt d'Keramik mat 80% oder 75% Aluminiumoxid och als gängeg Aluminiumoxid-Keramikserie klasséiert. Dorënner gëtt 99 Aluminiumoxid Keramikmaterial benotzt fir Héichtemperatur-Dichelen, feierbeständeg Uewenréier a speziell verschleißbeständeg Materialien, wéi Keramiklager, Keramikdichtung a Ventilplacken, ze produzéieren. 95 Aluminium Keramik gëtt haaptsächlech als korrosiounsbeständeg verschleißbeständeg Deeler benotzt. 85 Keramik gëtt dacks a bestëmmten Eegeschafte gemëscht, wouduerch d'elektresch Leeschtung a mechanesch Stäerkt verbessert ginn. Et kann Molybdän, Niob, Tantal an aner Metalldichtung benotzt ginn, an e puer ginn als elektresch Vakuumapparater benotzt.
Qualitéitsartikel (Representative Wäert) | Produktnumm | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemesch Zesummesetzung Natriumarm Produkt fir einfach Sinterung | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0� | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0� | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Mëttelgrousse Partikelduerchmiesser (MT-3300, Laseranalysemethod) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristallgréisst | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formdichte** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sinterdicht** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Schrumpfquote vun der Sinterlinn** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ass net an der Berechnung vun der Rengheet vun Al₂O₃ abegraff.
* Kee Skalierpulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), Sintertemperatur ass 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Füügt 0,05 ~ 0,1% MgO derbäi, d'Sinterbarkeet ass exzellent, sou datt et op Aluminiumoxidkeramik mat enger Rengheet vu méi wéi 99% uwendbar ass.
AES-22S: Charakteriséiert duerch héich Formdicht an eng niddreg Schrumpfquote vun der Sinterlinn, ass et uwendbar fir Gleitformgoss an aner grouss Produkter mat der erfuerderlecher Dimensiounsgenauegkeet.
AES-23 / AES-31-03: Et huet eng méi héich Formdicht, Thixotropie an eng méi niddreg Viskositéit wéi AES-22S. Déi éischt gëtt fir Keramik benotzt, während déi zweet als Waasserreduzéierer fir Feierschutzmaterialien benotzt gëtt a sou u Popularitéit gewënnt.
♦ Charakteristike vu Siliziumkarbid (SiC)
Allgemeng Charakteristiken | Rengheet vun den Haaptkomponenten (Gew.-%) | 97 | |
Faarf | Schwaarz | ||
Dicht (g/cm³) | 3.1 | ||
Waasserabsorptioun (%) | 0 | ||
Mechanesch Charakteristiken | Biegefestigkeit (MPa) | 400 | |
Young-Modul (GPa) | 400 | ||
Vickers-Härkeet (GPa) | 20 | ||
Thermesch Charakteristiken | Maximal Betribstemperatur (°C) | 1600 | |
Thermesch Expansiounskoeffizient | Raumtemperatur ~ 500 °C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | Raumtemperatur ~ 800 °C | 4.3 | |
Wärmeleitfäegkeet (W/m x K) | 130 110 | ||
Widderstand géint Thermeschock ΔT (°C) | 300 | ||
Elektresch Charakteristiken | Volumenwiderstand | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektresch Konstant | 10GHz | - | |
Dielektresch Verloscht (x 10-4) | - | ||
Q-Faktor (x 104) | - | ||
Dielektresch Duerchbrochspannung (KV/mm) | - |
♦Siliziumnitrid Keramik
Material | Eenheet | Si₃N₄ |
Sintermethod | - | Gasdrock gesintert |
Dicht | g/cm³ | 3.22 |
Faarf | - | Donkelgro |
Waasserabsorptiounsquote | % | 0 |
Jonge Modul | GPA | 290 |
Vickers-Härkeet | GPA | 18 - 20 |
Kompressiounsstäerkt | Mpa | 2200 |
Biegekraaft | Mpa | 650 |
Wärmeleitfäegkeet | W/mK | 25 |
Widderstand géint Thermeschocken | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maximal Betribstemperatur | °C | 1200 |
Volumenwiderstand | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektresch Konstant | - | 8.2 |
Dielektresch Stäerkt | kV/mm | 16 |