Material – Keramik

♦Aluminiumoxid (Al2O3)

Déi präzis Keramikdeeler, déi vun der ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) produzéiert ginn, kënnen aus héichreine Keramikréimaterialien, 92~97% Aluminiumoxid, 99,5% Aluminiumoxid, >99,9% Aluminiumoxid, a CIP-Kaltisostatesche Pressen hiergestallt ginn. Héichtemperatur-Sinteren a Präzisiounsbearbechtung, Dimensiounsgenauegkeet vun ± 0,001 mm, Gläichheet bis zu Ra0,1, Benotzungstemperatur bis zu 1600 Grad. Verschidde Faarwen vun der Keramik kënnen no de Wënsch vun de Clienten hiergestallt ginn, wéi zum Beispill: schwaarz, wäiss, beige, donkelrout, etc. Déi präzis Keramikdeeler, déi vun eiser Firma produzéiert ginn, si resistent géint héich Temperaturen, Korrosioun, Verschleiung an Isolatioun, a kënne laang Zäit an héijen Temperaturen, Vakuum a korrosiven Gasëmfeld benotzt ginn.

Vill benotzt an enger Villfalt vun Hallefleederproduktiounsausrüstung: Rahmen (Keramikhalterung), Substrat (Basis), Aarm/Bréck (Manipulator), mechanesch Komponenten a Keramik-Loftlager.

AL2O3

Produktnumm Héichreinheet 99 Aluminiumoxid Keramik Quadratröhrchen / Päif / Staang
Index Eenheet 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Dicht g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Waasserabsorptioun % <0,1 <0,1 0 0
Sintertemperatur 1620 1650 1800 1800
Häert Mohs 7 9 9 9
Biegefestigkeit (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Kompressiounsstäerkt Kilogramm/cm² 10000 25000 30000 30000
Laangzäiteg Aarbechtstemperatur 1350 1400 1600 1650
Maximal Aarbechtstemperatur 1450 1600 1800 1800
Volumenwiderstand 20℃ Ω. cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Uwendung vun héichreineger Aluminiumoxidkeramik:
1. Uwendbar op Hallefleederausrüstung: Keramik-Vakuumfutter, Schneidscheif, Botzscheif, Keramikfutter.
2. Wafer-Transferdeeler: Wafer-Handhabungsfutter, Wafer-Schneidescheiwen, Wafer-Reinigungsscheiwen, Saugnäppchen fir optesch Wafer-Inspektioun.
3. LED/LCD-Flaachbildschiermindustrie: Keramikdüse, Keramikschleifscheif, LIFT PIN, PIN-Schinn.
4. Optesch Kommunikatioun, Solarindustrie: Keramikréier, Keramikstangen, Keramikschraber fir Leiterplatten, Siebdruck.
5. Hëtzebeständeg an elektresch isoléierend Deeler: Keramiklager.
Aktuell kann Aluminiumoxid-Keramik a reng a gängeg Keramik agedeelt ginn. D'Aluminiumoxid-Keramikserie mat héijer Rengheet bezitt sech op dat Keramikmaterial, dat méi wéi 99,9% Al₂O₃ enthält. Wéinst senger Sintertemperatur vu bis zu 1650 - 1990°C an senger Transmissiounswellelängt vun 1 ~ 6μm gëtt et normalerweis a geschmolzene Glas amplaz vu Platin-Tigel veraarbecht: dat wéinst senger Liichttransmissioun a Korrosiounsbeständegkeet géint Alkalimetaller als Natriumréier benotzt ka ginn. An der Elektronikindustrie kann et als Héichfrequenz-Isolatiounsmaterial fir IC-Substrater benotzt ginn. Jee no dem verschiddenen Aluminiumoxidgehalt kann déi gängeg Aluminiumoxid-Keramikserie a 99 Keramik, 95 Keramik, 90 Keramik an 85 Keramik agedeelt ginn. Heiansdo gëtt d'Keramik mat 80% oder 75% Aluminiumoxid och als gängeg Aluminiumoxid-Keramikserie klasséiert. Dorënner gëtt 99 Aluminiumoxid Keramikmaterial benotzt fir Héichtemperatur-Dichelen, feierbeständeg Uewenréier a speziell verschleißbeständeg Materialien, wéi Keramiklager, Keramikdichtung a Ventilplacken, ze produzéieren. 95 Aluminium Keramik gëtt haaptsächlech als korrosiounsbeständeg verschleißbeständeg Deeler benotzt. 85 Keramik gëtt dacks a bestëmmten Eegeschafte gemëscht, wouduerch d'elektresch Leeschtung a mechanesch Stäerkt verbessert ginn. Et kann Molybdän, Niob, Tantal an aner Metalldichtung benotzt ginn, an e puer ginn als elektresch Vakuumapparater benotzt.

 

Qualitéitsartikel (Representative Wäert) Produktnumm AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Chemesch Zesummesetzung Natriumarm Produkt fir einfach Sinterung H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0� % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0� % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Mëttelgrousse Partikelduerchmiesser (MT-3300, Laseranalysemethod) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Kristallgréisst μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Formdichte** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2,35 2,57 2,56
Sinterdicht** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Schrumpfquote vun der Sinterlinn** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ass net an der Berechnung vun der Rengheet vun Al₂O₃ abegraff.
* Kee Skalierpulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), Sintertemperatur ass 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Füügt 0,05 ~ 0,1% MgO derbäi, d'Sinterbarkeet ass exzellent, sou datt et op Aluminiumoxidkeramik mat enger Rengheet vu méi wéi 99% uwendbar ass.
AES-22S: Charakteriséiert duerch héich Formdicht an eng niddreg Schrumpfquote vun der Sinterlinn, ass et uwendbar fir Gleitformgoss an aner grouss Produkter mat der erfuerderlecher Dimensiounsgenauegkeet.
AES-23 / AES-31-03: Et huet eng méi héich Formdicht, Thixotropie an eng méi niddreg Viskositéit wéi AES-22S. Déi éischt gëtt fir Keramik benotzt, während déi zweet als Waasserreduzéierer fir Feierschutzmaterialien benotzt gëtt a sou u Popularitéit gewënnt.

♦ Charakteristike vu Siliziumkarbid (SiC)

Allgemeng Charakteristiken Rengheet vun den Haaptkomponenten (Gew.-%) 97
Faarf Schwaarz
Dicht (g/cm³) 3.1
Waasserabsorptioun (%) 0
Mechanesch Charakteristiken Biegefestigkeit (MPa) 400
Young-Modul (GPa) 400
Vickers-Härkeet (GPa) 20
Thermesch Charakteristiken Maximal Betribstemperatur (°C) 1600
Thermesch Expansiounskoeffizient Raumtemperatur ~ 500 °C 3.9
(1/°C x 10-6) Raumtemperatur ~ 800 °C 4.3
Wärmeleitfäegkeet (W/m x K) 130 110
Widderstand géint Thermeschock ΔT (°C) 300
Elektresch Charakteristiken Volumenwiderstand 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektresch Konstant 10GHz -
Dielektresch Verloscht (x 10-4) -
Q-Faktor (x 104) -
Dielektresch Duerchbrochspannung (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Siliziumnitrid Keramik

Material Eenheet Si₃N₄
Sintermethod - Gasdrock gesintert
Dicht g/cm³ 3.22
Faarf - Donkelgro
Waasserabsorptiounsquote % 0
Jonge Modul GPA 290
Vickers-Härkeet GPA 18 - 20
Kompressiounsstäerkt Mpa 2200
Biegekraaft Mpa 650
Wärmeleitfäegkeet W/mK 25
Widderstand géint Thermeschocken Δ (°C) 450 - 650
Maximal Betribstemperatur °C 1200
Volumenwiderstand Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektresch Konstant - 8.2
Dielektresch Stäerkt kV/mm 16