Granit ass e ganz gutt Material fir Maschinnebasen, besonnesch fir Waferveraarbechtungsausrüstung, wéinst senge speziellen Eegeschafte wéi héijer Steifheet, gerénger thermescher Expansioun an iwwerleeëne Schwéngungsdämpfungseigenschaften. Wärend Metall traditionell als Material fir Maschinnebasen benotzt gouf, huet sech Granit aus de folgende Grënn als eng besser Alternativ erausgestallt:
Héich Steifheet: Eng Maschinnbasis muss steif a stabil sinn, fir Schwéngungen ze minimiséieren an d'Genauegkeet während der Waferveraarbechtung ze erhalen. Granit huet en héicht Steifheet-Gewiichtsverhältnis, wat en extrem steif a stabil mécht, wouduerch d'Schwéngungen reduzéiert ginn an eng exzellent Bearbechtungsgenauegkeet garantéiert gëtt.
Niddreg thermesch Ausdehnung: Temperaturännerunge kënnen dozou féieren, datt Metall sech ausdehnt oder zesummenzitt, wat zu Dimensiounsännerungen an der Maschinnbasis féiert an zu Ongenauegkeeten an der Veraarbechtung féiert. Granit dogéint huet e niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung, dat heescht, datt en sech bei Temperaturännerungen net vill ausdehnt oder zesummenzitt, wat Stabilitéit a Genauegkeet an der Veraarbechtung garantéiert.
Iwwerleeën Schwéngungsdämpfung: Schwéngunge sinn e gemeinsamt Problem bei Maschinnen, an et kann zu Dimensiounsfeeler, Problemer mat der Uewerflächenqualitéit a souguer virzäitegem Verschleiung vun de Maschinnkomponenten féieren. Granit ass bekannt fir seng exzellent Schwéngungsdämpfungseigenschaften, dat heescht, datt et Schwéngungen absorbéiere a dämpfe kann, wat eng reibungslos a präzis Veraarbechtung garantéiert.
Chemesch Resistenz: D'Waferveraarbechtung ëmfaasst d'Benotzung vu verschiddene Chemikalien, an d'Beliichtung mat dëse Chemikalien kann mat der Zäit zu Korrosioun an enger Degradatioun vun der Maschinnbasis féieren. Granit ass héich resistent géint chemesch Korrosioun, wat et zu enger sécherer an haltbarer Materialwiel fir Maschinnbasisen a Waferveraarbechtungsausrüstung mécht.
Wenig Ënnerhalt: Granit brauch minimal Ënnerhalt, ass einfach ze botzen a korrodéiert oder roscht net wéi Metall. Dëst bedeit méi niddreg Ënnerhaltskäschten a manner Ausfallzäit fir d'Ausrüstung.
Insgesamt bitt d'Wiel vu Granit amplaz vu Metall fir eng Maschinnbasis fir Waferveraarbechtungsausrüstung verschidde Virdeeler, dorënner héich Steifheet, niddreg thermesch Expansioun, iwwerleeën Schwéngungsdämpfung, exzellent chemesch Resistenz a geréng Ënnerhaltskäschten. Dës Virdeeler garantéieren, datt d'Maschinnebasis stabil, präzis an haltbar bleift, wat zu enger héichqualitativer Waferveraarbechtung an enger erhéichter Produktivitéit féiert.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 28. Dezember 2023