Granit Komponente gi wäit an Hallefleitausrüstung benotzt wéinst hirer héijer Stabilitéit an Haltbarkeet.Si si verantwortlech fir d'Präzisioun an d'Genauegkeet vun de Hallefleitproduktiounsprozesser z'erhalen.Wéi och ëmmer, d'Effizienz an d'Zouverlässegkeet vun de Granitkomponenten hänkt vun de Standarden a Spezifikatioune of, déi während hirem Design, Fabrikatioun an Installatioun erhale ginn.
Déi folgend sinn e puer vun de Standarden a Spezifikatioune, déi musse respektéiert ginn wann Dir Granitkomponenten an Halbleiterausrüstung benotzt:
1. Material Dicht: D'Dicht vum Granitmaterial, deen an der Fabrikatioun vu Granitkomponenten benotzt gëtt, soll ongeféier 2,65g / cm3 sinn.Dëst ass d'Dicht vum natierleche Granitmaterial, an et garantéiert Konsistenz an Zouverlässegkeet an den Eegeschafte vun de Granitkomponenten.
2. Flatness: Flatness ass eng vun den entscheedendsten Spezifikatioune fir Granitkomponenten, déi an Halbleiterausrüstung benotzt ginn.D'Flaachheet vun der Granitfläch soll ënner 0,001 mm/m2 sinn.Dëst garantéiert datt d'Uewerfläch vum Komponent flaach an Niveau ass, wat essentiell ass fir Halbleiterfabrikatiounsprozesser.
3. Surface Finish: D'Surface Finish vu Granitkomponenten solle vu qualitativ héichwäerteg sinn, mat enger Surface Rauchheet ënner 0,4µm.Dëst garantéiert datt d'Uewerfläch vum Granitkomponent e gerénge Reibungskoeffizient huet, wat kritesch ass fir de glaten Operatioun vun Halbleiterausrüstung.
4. Thermesch Expansiounskoeffizient: Semiconductor Ausrüstung funktionéiert bei verschiddenen Temperaturen, a Granitkomponenten solle fäeg sinn thermesch Schwankungen ouni Verformung ze widderstoen.Den thermesche Expansiounskoeffizient vu Granit, deen an Halbleiterausrüstung benotzt gëtt, soll ënner 2 x 10 ^ -6 / ° C sinn.
5. Dimensiounstoleranz: Dimensiounstoleranz ass entscheedend fir d'Leeschtung vun Granitkomponenten.D'dimensional Toleranz vu Granitkomponenten soll bannent ± 0,1 mm fir all kritesch Dimensiounen sinn.
6. Hardness a Wear Resistance: Hardness a Verschleißbeständegkeet sinn wesentlech Spezifikatioune fir Granitkomponenten, déi an Halbleiterausrüstung benotzt ginn.Granit huet eng Härkeet vun der Mohs Skala 6-7, wat et e gëeegent Material mécht fir an Halbleiterausrüstungsapplikatiounen ze benotzen.
7. Isolatioun Leeschtung: Granit Komponente benotzt an semiconductor Equipement soll excellent Isolatioun Leeschtung fir Schued ze sensibel elektronesch Komponente verhënneren.Elektresch Resistenz soll iwwer 10^9 Ω/cm sinn.
8. Chemesch Resistenz: Granit Komponenten sollen resistent géint allgemeng Chemikalien sinn, déi an Halbleiterfabrikatiounsprozesser benotzt ginn, wéi Säuren an Alkalien.
Als Conclusioun, sinn d'Standarden an Spezifikatioune fir Granit Komponente benotzt an semiconductor Ausrüstung entscheedend der longevity an Zouverlässegkeet vun souwuel de Komponente an der Ausrüstung ze garantéieren si benotzt ginn an. Prozesser fir sécherzestellen datt d'Komponente vun der héchster Qualitéit sinn.Andeems Dir dës Normen a Spezifikatioune verfollegt, kënnen d'Halbleiter Hiersteller garantéieren datt d'Performance vun hirer Ausrüstung optimal bleift, wat zu enger erhéiter Produktivitéit a Rentabilitéit féiert.
Post Zäit: Mar-20-2024