Granit gëtt zënter ville Jore wäit verbreet an der Fabrikatioun an dem Design vun Hallefleederausrüstung benotzt. Dëst ass wéinst senge exzellenten Eegeschaften, déi et zu engem ideale Material fir vill Uwendungen maachen. Granit ass héich resistent géint Verschleiung, Korrosioun an Thermoschocken, wat et gëeegent mécht fir den Asaz an haarden Ëmfeld. An dësem Artikel wäerte mir e puer vun den üblechen Uwendungen vu Granit an Hallefleederausrüstung diskutéieren.
1. Metrologieausrüstung
Metrologie-Ausrüstung gëtt benotzt fir d'Dimensiounen an d'Eegeschafte vu Hallefleederkomponenten ze moossen. Granit gëtt dacks als Basis fir sou Ausrüstung benotzt wéinst senger héijer Dimensiounsstabilitéit. D'Flaachheet an d'Prezisioun vun der Granitoberfläch bidden eng ideal Referenz fir präzis Miessungen. Zousätzlech reduzéiert d'thermesch Stabilitéit vu Granit de Risiko vun Dimensiounsännerungen duerch Temperaturschwankungen.
2. Optesch Ausrüstung
Granit gëtt och an opteschen Ausrüstungen ewéi Lithographiemaschinne benotzt, déi bei der Fabrikatioun vun Hallefleederkomponenten agesat ginn. D'Granitbasis bitt eng stabil Plattform fir déi héichpräzis Optik, déi an dëse Maschinne benotzt gëtt. Déi exzellent Schwéngungsdämpfungseigenschaften vum Granit hëllefen och, Schwéngungen ze reduzéieren, déi d'Leeschtung an d'Genauegkeet vun der Optik beaflosse kënnen.
3. Ausrüstung fir d'Veraarbechtung vu Waferen
D'Veraarbechtung vu Hallefleiterwafer ëmfaasst verschidde Schrëtt, dorënner Botzen, Ätzen an Oflagerung. Granit gëtt a verschiddene Komponenten vun der Waferveraarbechtungsausrüstung benotzt. Zum Beispill gëtt Granit als Substrat fir chemesch Dampfoflagerungsausrüstung (CVD) benotzt, déi benotzt gëtt fir dënn Schichten op Siliziumwafer ofzesetzen. Granit gëtt och beim Bau vun Ätzkammeren an anere Prozessbehälter benotzt, wou seng exzellent chemesch Resistenz a dimensional Stabilitéit essentiell sinn.
4. Testausrüstung
Testgeräter gi benotzt fir d'Leeschtung an d'Qualitéit vun Hallefleederkomponenten ze verifizéieren. Granit gëtt dacks als Basis fir Testgeräter benotzt wéinst senger héijer Steifheet a Stabilitéit. Granit bitt eng net-magnetesch an net-leitend Plattform, déi Interferenzen mat sensiblen Testgeräter eliminéiert. D'Flaachheet an d'Prezisioun vun der Granitoberfläche erlaben héich präzis Testergebnisse.
Conclusioun
Zesummefaassend ass Granit e wichtegt Material beim Design a bei der Fabrikatioun vun Hallefleedergeräter. Seng exzellent Eegeschaften, dorënner Dimensiounsstabilitéit, thermesch Stabilitéit, chemesch Resistenz a Schwéngungsdämpfung, maachen et zu engem ideale Material fir vill Uwendungen. Granit gëtt a verschiddene kritesche Komponenten vun Hallefleedergeräter benotzt, dorënner Metrologie-Ausrüstung, optesch Ausrüstung, Wafer-Veraarbechtungsausrüstung a Testausrüstung. Well d'Nofro fir méi séier, méi kleng a méi leistungsstark Hallefleederkomponenten weider wiisst, ass et wahrscheinlech, datt d'Benotzung vu Granit an Hallefleedergeräter essentiell bleift.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 08.04.2024