Granit ass en allgemeng benotzt Material an der Hallefleitindustrie fir seng exzellent mechanesch Eegeschaften, thermesch Stabilitéit, a geréng thermesch Expansiounskoeffizient.Wéi och ëmmer, mat der ëmmer méi grousser Nofro fir méi héich Präzisioun a Produktivitéit, sinn alternativ Materialien als liewensfäeg Optioune fir d'Fabrikatioun vun Halbleiterausrüstungskomponenten entstanen.An dësem Artikel wäerte mir e puer vun den alternativen Materialien fir Granitdeeler an Halbleiterausrüstung entdecken an hir Virdeeler an Nodeeler vergläichen.
Alternativ Material fir Granit Parts
1. Glas-Keramik Materialien
Glaskeramik Materialien, wéi Zerodur a Cervit, hu wäit verbreet an der Hallefleitindustrie gewonnen wéinst hirem nidderegen thermesche Expansiounskoeffizient, deen no bei deem vum Silizium ass.Dofir kënnen dës Materialien besser thermesch Stabilitéit a verstäerkte Präzisioun am Halbleiterfabrikatiounsprozess ubidden.Zerodur, besonnesch, huet en héije Grad vun Homogenitéit a Stabilitéit, sou datt et gëeegent ass fir d'Fabrikatioun vu Lithographieausrüstung.
Virdeeler:
- Niddereg Koeffizient vun der thermescher Expansioun
- Héich Präzisioun a Stabilitéit
- Gëeegent fir héich Temperatur Uwendungen
Nodeeler:
- Méi héich Käschten am Verglach zum Granit
- Relativ brécheg, kann Erausfuerderunge bei der Maschinn an der Handhabung stellen
2. Keramik
Keramikmaterialien, wéi Aluminiumoxid (Al2O3), Siliziumkarbid (SiC), a Siliziumnitrid (Si3N4), hunn exzellent mechanesch Eegeschaften, Héichtemperaturresistenz, a geréng thermesch Expansiounskoeffizient.Dës Eegeschafte maachen Keramik ideal fir Halbleiterausrüstungsdeeler déi héich thermesch Stabilitéit a Präzisioun erfuerderen, sou wéi Waferstufen a Chucks.
Virdeeler:
- Héich thermesch Stabilitéit a Kraaft
- Niddereg thermesch Expansiounskoeffizient
- Héich Verschleißbeständegkeet a chemesch Inertheet
Nodeeler:
- Kann brécheg sinn an ufälleg fir ze knacken, besonnesch während der Veraarbechtung an der Handhabung
- Machining a Polieren vu Keramik kann Erausfuerderung an Zäitopwendeg sinn
3. Metaller
Metallbaséiert Materialien, wéi Edelstol an Titan, goufen fir e puer Hallefleitausrüstungsdeeler benotzt wéinst hirer exzellenter Veraarbechtung an héijer Kraaft.Si ginn allgemeng an Uwendungen benotzt wou héich thermesch Stabilitéit net erfuerderlech ass, sou wéi Kammerdeeler, Kupplungen a Fudder.
Virdeeler:
- Gutt machinability a weldability
- Héich Kraaft an Duktilitéit
- Niddreg Käschten am Verglach mat e puer vun den alternativen Materialien
Nodeeler:
- Héich thermesch Expansiounskoeffizient
- Net gëeegent fir héich Temperatur Uwendungen wéinst thermesch Expansioun Problemer
- Ufälleg fir Korrosioun a Kontaminatioun
Conclusioun:
Zesummegefaasst, wärend Granit eng populär Wiel fir Halbleiterausrüstungsdeeler war, sinn alternativ Materialien entstanen, jidderee mat eenzegaartege Virdeeler an Nodeeler.Glaskeramikmaterialien sinn héich präzis a stabil awer kënne brécheg sinn.Keramik si staark an hunn eng exzellent thermesch Stabilitéit awer kann och brécheg sinn, wat se méi Erausfuerderung mécht fir ze fabrizéieren.Metaller si preiswert, machinéierbar an duktil, awer si hunn e méi héije Koeffizient vun der thermescher Expansioun a si ufälleg fir Korrosioun a Kontaminatioun.Wann Dir Materialien fir Halbleiterausrüstung auswielt, ass et entscheedend déi spezifesch Ufuerderunge vun der Applikatioun ze berücksichtegen a Materialien ze wielen déi Käschten, Leeschtung an Zouverlässegkeet balanséieren.
Post Zäit: Mar-19-2024