An de Beräicher vun der High-End-Produktioun a modernster wëssenschaftlecher Fuerschung ass eng präzis statesch Drockloft-Schwiebeweegungsplattform déi wichtegst Ausrüstung fir en ultrapräzisen Operatioun z'erreechen. D'Granitpräzisiounsbasis ass den zentrale ënnerstëtzende Bestanddeel vun der Plattform, an hir Leeschtung ass enk mat der Aarbechtsëmfeld verbonnen. D'Verständnis an d'Erfëllung vun dësen Ëmweltfuerderunge kann net nëmmen den héichpräzise Betrib vun der Plattform garantéieren, mä och e wichtegen Deel vum Betrib fir seng Kompetitivitéit a verwandte Beräicher ze verbesseren, wat am Detail hei ënnendrënner beschriwwe gëtt.
1. Temperatur: präzis Kontroll fir d'dimensional Stabilitéit ze garantéieren
Obwuel Granit fir seng Stabilitéit bekannt ass, ass säin thermeschen Ausdehnungskoeffizient net null, a kleng Temperaturännerunge kënnen ëmmer nach seng Dimensiounsgenauegkeet beaflossen. Am Allgemengen ass den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu Granit 5-7 × 10⁻⁶/℃. Am Uwendungsszenario vun enger präziser statescher Drockloft-Schwiewendbewegungsplattform gëtt dës kleng Ännerung vun der Plattform verstäerkt, wat zu enger Ofwäichung vun der Bewegungsgenauegkeet féiere kann. Zum Beispill, am Hallefleiterchip-Fabrikatiounsprozess, kann de Lithographieprozess fir d'Positionéierungsgenauegkeet vum Danami-Niveau, bei enger Ëmgéigungstemperaturschwankung vun 1 °C, d'Säitelängt vun enger Granitbasis vun 1 Meter 5-7 Mikrometer linear Ausdehnung oder Kontraktioun produzéieren, wat genuch ass, fir d'Ofwäichung vum Chip-Lithographiemuster ze verursaachen an d'Ausbezuelung ze reduzéieren. Dofir soll déi ideal Aarbechtsëmfeldtemperatur vun der präziser statescher Drockloft-Schwiewendplattform, déi mat enger Präzisiounsgranitbasis ausgestatt ass, streng op 20 °C ±1 °C kontrolléiert ginn. D'Entreprisen kënnen eng héichpräzis Klimaanlag mat konstanter Temperatur installéieren, d'Ëmgéigungstemperatur kontinuéierlech iwwerwaachen an präzis upassen, d'Gréisst vun der Granitbasis stabil halen, fir de präzise Betrib vun der Plattform ze garantéieren.
2. Fiichtegkeet: vernünfteg Kontroll, schützt d'Basisleistung
D'Fiichtegkeet huet och e wesentlechen Afloss op Präzisiounsgranitbasen. An enger Ëmwelt mat héijer Fiichtegkeet absorbéiert Granit einfach Waasserdamp, an et kann Kondensatioun op der Uewerfläch entstoen, wat net nëmmen den normale Betrib vum Loftflotatiounssystem stéiert, mä och zu enger laangfristeger Erosioun vun der Granituewerfläch féiert, wat hir Genauegkeet a Liewensdauer reduzéiert. Zum Beispill, wann d'Atelier fir optesch Lënsen schleift, wann d'Fiichtegkeet fir eng laang Zäit méi héich wéi 60%RH ass, zerstéiert de Waasserdamp, deen op der Uewerfläch vun der Granitbasis adsorbéiert gëtt, d'Uniformitéit vum Loftflotfilm, wat zu enger Ofsenkung vun der Genauegkeet vum Lënsenschleifen an Uewerflächendefekter féiert. Dofir muss déi relativ Fiichtegkeet vun der Aarbechtsëmfeld tëscht 40%-60%RH kontrolléiert ginn. Entreprisen kënnen Entfeuchter, Fiichtegkeetssensoren an aner Ausrüstung benotzen, fir d'Fiichtegkeet a Echtzäit ze iwwerwaachen an ze kontrolléieren, eng passend Fiichtegkeetsëmfeld fir d'Präzisiounsgranitbasis ze schafen an de stabile Betrib vun der präziser statescher Drockloft-Schwiebeweegungsplattform ze garantéieren.
3. Rengheet: strikt Kontroll, eliminéiert Partikelinterferenz
Staubpartikelen sinn den "Feind" vun der Präzisiounsplattform fir statesch Drockloftbeweegung a schueden der Präzisiounsbasis vu Granit groussen. Soubal déi kleng Partikelen an d'Gasfilmlück tëscht dem Gasschwebschieber an der Granitbasis kommen, kënne se d'Uniformitéit vum Gasfilm zerstéieren, d'Reibung erhéijen an och d'Uewerfläch vun der Basis krazen, wat d'Genauegkeet vun der Plattformbewegung eescht beaflosst. An der Ultrapräzisiounsbearbeitungsatelier fir Loftfaartdeeler, wann d'Staubpartikelen an der Loft op d'Granitbasis falen, kann d'Beweegungsbunn vum Bearbeitungsinstrument ofwäichen, wat d'Bearbeitungsgenauegkeet vun den Deeler beaflosst. Dofir soll den Aarbechtsberäich ganz propper gehale ginn an e Rengheetsstandard vun 10.000 oder nach méi héich erreechen. D'Entreprisen kënnen d'Staubpartikelen aus der Loft filteren andeems se héicheffizient Loftfilter (HEPA) installéieren, a verlaangen datt d'Mataarbechter staubfräi Kleeder, Schongbedeckungen usw. droen, fir de Stëbs, deen duerch Mënschen mat sech bruecht gëtt, ze reduzéieren an d'héichpräzis Betribsëmfeld vun der Granitbasis an der Präzisiounsplattform fir statesch Drockloftbewegung z'erhalen.
4. Vibratioun: Effektiv Isolatioun fir e glaten Raum ze schafen
Extern Schwéngungen stéieren d'Prezisioun vun der Präzisiouns-statischer Loftdrock-Schwimmplattform eescht, obwuel d'Präzisiouns-Granitbasis eng gewësse Schwéngungsdämpfungskapazitéit huet, awer déi héichstäerkt Schwéngungen kënnen ëmmer nach hir Puffergrenz briechen. D'Schwéngungen, déi duerch de Verkéier ronderëm d'Fabréck an de Betrib vu grousse mechaneschen Ausrüstung generéiert ginn, ginn iwwer de Buedem op d'Granitbasis iwwerdroen, wat d'Genauegkeet vun der Plattformbewegung stéiert. Bei High-End CMM kënnen d'Schwéngungen de Kontakt tëscht der Miesssond an dem ze moossenen Werkstéck onstabil maachen, wat zu enger Ofwäichung vun de Miessdaten féiert. Fir dëst Problem ze léisen, ass et néideg effektiv Schwéngungsisolatiounsmoossnamen ze treffen, wéi z. B. d'Verleeë vu Schwéngungsisolatiounspolster am Installatiounsberäich vun der Ausrüstung, de Bau vu Schwéngungsisolatiounsfundamenter oder d'Benotzung vun engem aktive Schwéngungsisolatiounssystem fir extern Schwéngungen aktiv auszegläichen, an eng roueg a stabil Aarbechtsëmfeld fir d'Granitpräzisiounsbasis an d'Präzisiouns-statische Loftdrock-Schwimmplattform ze schafen.
Erfëllt déi uewe genannten Ëmweltfuerderungen, fir d'Virdeeler vun der Präzisiounsbasis vu Granit an der Präzisiounsplattform fir statesch Loftdrock voll auszenotzen, fir sécherzestellen, datt d'Plattform héichpräzis a stabil Bewegungskontrolldéngschter fir verschidden Industrien ubitt. Wann d'Entreprisen op dës Detailer am Produktiounsëmfeld oppassen, notze si d'Méiglechkeet an der Präzisiounsfabrikatioun, der wëssenschaftlecher Fuerschung an anere Beräicher, verbesseren hir Kompetitivitéit an erreechen eng nohalteg Entwécklung.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 10. Abrëll 2025