Granit ass e Gestengs aus Natur aus, dat schonn zënter laanger Zäit a Waferveraarbechtungsausrüstung benotzt gëtt. Et ass bekannt fir seng exzellent Eegeschafte wéi eng niddreg thermesch Expansioun, eng héich Steifheet a gutt Stabilitéit. Wéi all Materialien huet Granit awer seng eege Mängel, déi d'Qualitéit vun der Waferveraarbechtungsausrüstung beaflosse kënnen.
Ee vun den Haaptdefekter vu Granit ass seng Tendenz ze räissen oder ze briechen. Dëst ass wéinst der Präsenz vu Mikrorëss, déi während der Bildung vum Gestengs entstoe kënnen. Wann dës Mikrorëss net richteg identifizéiert a behandelt ginn, kënne se sech verbreeden an zu engem Ausfall vun der Ausrüstung féieren. Fir dëst ze verhënneren, mussen d'Hiersteller vu Veraarbechtungsausrüstung héichwäertege Granit benotzen, deen behandelt a getest gouf, fir sécherzestellen, datt e fräi vu Mikrorëss ass.
En aneren Nodeel vu Granit ass seng Ufällegkeet fir Korrosioun. Wann Granitausrüstung a Kontakt mat korrosiven Ëmfeld kënnt, kann se mat der Zäit ufänken ofzebauen. Dëst kann dozou féieren, datt d'Ausrüstung beschiedegt gëtt oder net richteg funktionéiert. Fir dëst ze verhënneren, mussen d'Hiersteller sécher stellen, datt de Granit, deen an hiren Ausrüstung benotzt gëtt, richteg behandelt a beschichtet ass, fir Korrosioun ze verhënneren.
Granit ass och ufälleg fir Verzerrungen mat der Zäit wéinst senge inherente thermesche Eegeschaften. Dëst läit dorun, datt Granit e ganz niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung huet, dat heescht, datt en net vill ausdehnt oder zesummezitt, wann en Temperaturännerungen ausgesat ass. Wéi och ëmmer, och eng kleng Ausdehnung oder Kontraktioun kann mat der Zäit Verzerrungen an der Ausrüstung verursaachen. Et ass wichteg, datt den Hiersteller vun der Ausrüstung d'thermesch Eegeschafte vum Granit beim Design vun senger Ausrüstung berécksiichtegt, fir dëse Defekt ze vermeiden.
Schlussendlech kann déi poréis Natur vu Granit zu Problemer mat Kontaminatioun féieren. Wann de Granit net richteg versiegelt ass, kann en Kontaminanten absorbéieren, déi d'Qualitéit vum Wafer beaflosse kënnen. Dëst kann zu deieren Ausfallzäiten a Produktiounsverloschter féieren. Fir dëst ze verhënneren, mussen d'Produzenten de Granit richteg versiegelen, fir ze verhënneren, datt Kontaminanten absorbéiert ginn.
Schlussendlech ass Granit e ganz gutt Material fir a Waferveraarbechtungsausrüstung ze benotzen. Et ass awer wichteg, sech iwwer seng Mängel bewosst ze sinn an déi néideg Virsiichtsmoossnamen ze treffen, fir se ze verhënneren. Mat der richteger Pfleeg an Ënnerhalt kann Granitausrüstung vill Jore laang funktionéieren a sou héichwäerteg Wafere fir d'Hallefleederindustrie liwweren.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 27. Dezember 2023