Hallefleiterherstellung: Am Chip-Herstellungsprozess muss de Photolithographieprozess de Schaltungsmuster präzis op de Wafer iwwerdroen. D'Granitbasis vum Single-Achs Air Floating Ultra-Precision Motion Modul kann eng héichpräzis Positionéierung an eng stabil Ënnerstëtzung fir den Wafer-Dësch an der Lithographie-Ausrüstung ubidden. Zum Beispill benotzen ASML an aner international renomméiert Lithographie-Maschinnehersteller Air Floating Motion Moduler op Granitbasis an hiren High-End-Ausrüstungen, déi d'Positionéierungsgenauegkeet vum Wafer op Nanometerniveau kontrolléiere kënnen, fir d'Genauegkeet vum Lithographie-Muster ze garantéieren an doduerch d'Integratioun an d'Performance vum Chip ze verbesseren.
Beräich vun der Präzisiounsmiessung: CMM ass e Präzisiounsmiessgerät, dat dacks an der industrieller Produktioun benotzt gëtt, fir d'Gréisst, d'Form an d'Positiounsgenauegkeet vum Werkstéck ze moossen. De ganz präzise Bewegungsmodul vum Eenachs-Loftschwimmer op der Granitbasis kann als Bewegungsplattform vum CMM benotzt ginn, wat eng héichpräzis linear Bewegung realiséiere kann an eng stabil Bewegungsbunn fir d'Miesssond bitt. Zum Beispill benotzt den High-End CMM vun Hexagon dës Kombinatioun fir grouss a komplex Deeler mat enger Miessgenauegkeet bis op de Mikrometerniveau ze moossen, wat eng staark Garantie fir d'Qualitéitskontroll vun Deeler an der Automobil-, Loftfaart- an aner Industrien bitt.
Loftfaartberäich: Bei der Veraarbechtung an dem Testen vun Deeler aus der Loftfaart ass eng héich Präzisioun erfuerderlech. Zum Beispill erfuerdert d'Bearbechtung vu Fligermotorblieder eng präzis Kontroll vun der Bewegungsbunn vum Tool, fir d'Genauegkeet vum Klingenprofil ze garantéieren. D'Granitbasis vum Single-Achs-Loftschwimmer-Ultrapräzisiounsbewegungsmodul kann um Fënnef-Achs-Bearbechtungszentrum an aner Ausrüstung ugewannt ginn, fir eng héichpräzis Bewegungskontroll fir d'Tool ze bidden an ze garantéieren, datt d'Bearbechtungsgenauegkeet vun der Klingen den Designufuerderunge erfëllt. Gläichzäiteg ass et am Montageprozess vum Loftfaartmotor och néideg, héichpräzis Miessapparater ze benotzen, fir d'Montagegenauegkeet vun den Deeler ze bestëmmen. De Loftschwimmerbewegungsmodul vun der Granitbasis kann eng stabil Ënnerstëtzung an eng präzis Bewegung fir d'Miessapparater ubidden, fir d'Montagequalitéit ze garantéieren.
Optesch Inspektiounsberäich: Beim Fabrikatiouns- a Testprozess vun optesche Komponenten ass et néideg, héichpräzis Positionéierung a Miessung vun optesche Komponenten duerchzeféieren. Zum Beispill, bei der Fabrikatioun vun héichpräzisen optesche Komponenten wéi Spigelen a Lënsen, ass et néideg, Interferometer an aner Ausrüstung ze benotzen, fir d'Genauegkeet vun der Uewerflächenform ze detektéieren. D'Granitbasis vum Single-Achs Loftschwebende Ultrapräzisiounsbewegungsmodul kann als Bewegungsplattform vum Interferometer benotzt ginn, wat eng Submikron-Positionéierungsgenauegkeet ëmsetze kann a korrekt Datenënnerstëtzung fir d'Detektioun vun optesche Komponenten ubitt. Zousätzlech ass et an der Laserveraarbechtungsausrüstung och néideg, eng héichpräzis Bewegungsplattform ze benotzen, fir d'Scannebunn vum Laserstrahl ze kontrolléieren. D'Granitbasis vum Loftschwebende Bewegungsmodul kann dës Ufuerderung erfëllen, fir eng héichpräzis Laserveraarbechtung z'erreechen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 07.04.2025