Granit ass eng Zort Hartgestengs, déi zu engem onverzichtbare Material an der Hallefleederindustrie ginn ass. Seng Eegeschafte erlaben et, héijen Temperaturen auszehalen, wat et ideal mécht fir a verschiddene Phasen vun den Hallefleederproduktiounsprozesser ze benotzen. Dofir huet d'Montage vu Granit extensiv Uwendungsberäicher a Hallefleederproduktiounsprozesser fonnt.
Eng vun de meeschtbenotzten Uwendungen vun der Granitmontage ass de Bau vu präzise Maschinenstrukturen. D'Steifheet a Stabilitéit vum Granit maachen et méiglech, präzis an präzis Tools mat wéineg oder guer kenger Deformatioun ze produzéieren. Dëst Präzisiounsniveau ass néideg bei Hallefleederherstellungsprozesser wéi Ionenimplantatioun, wou de Stral präzis op de Wafer geriicht muss ginn.
Eng aner Uwendung vun der Granitmontage an der Hallefleederproduktioun ass de Bau vu Metrologieausrüstung. Metrologieausrüstung ass essentiell a Prozesser vun der Hallefleederproduktioun, well se d'Genauegkeet vun den Apparater moosst a verifizéiert, déi produzéiert ginn. Déi dimensional Stabilitéit, déi niddreg thermesch Expansioun an déi exzellent Schwéngungsdämpfungseigenschaften vu Granit maachen et zum Material vun der Wiel bei der Konstruktioun vu Metrologieausrüstung. Dëst beinhalt grouss Granitflächen, déi fir d'Staging an d'Inspektioun vu Wafere benotzt ginn.
Optesch Dëscher sinn en anert Gebitt vun extensiver Uwendung vun der Granitmontage an der Hallefleederindustrie. Optesch Dëscher gi beim Testen vun opteschen Apparater wéi Wellenleiter fir Datenkommunikatioun benotzt. D'Flaachheet, déi niddreg thermesch Expansioun, déi héich Steifheet an déi mechanesch Stabilitéit vu Granit erméiglechen et, eng héich stabil Uewerfläch fir d'Montage an d'Positionéierung vun Optik ze bidden. Granit optesch Dëscher kënnen d'Stabilitéit a Steifheet bidden, déi néideg sinn, fir korrekt an präzis Tester vun opteschen Apparater duerchzeféieren.
Granit fënnt och Uwendungen an der Konstruktioun vu Wafer-Chucks a Stufen. Wärend dem Hallefleederfabrikatiounsprozess ass präzis Ausriichtung a Positiounskontroll entscheedend. Wafer-Chucks, déi d'Wafers während der Veraarbechtung op der Plaz halen, mussen d'Positiounsgenauegkeet behalen, wärend se gläichzäiteg héijen Temperaturen a Vakuumbedingungen standhalen. Granit huet eng exzellent Dimensiounsstabilitéit iwwer e breede Temperaturberäich a ka Vakuumbedingungen standhalen, wat en ideal fir de Bau vu Wafer-Chucks mécht. Stufen, déi bei der Bewegung vu Wafers vun enger Positioun op déi aner benotzt ginn, duerchlafen eng zyklech Sequenz vu Bewegungen während engem Hallefleederfabrikatiounsprozess. Granit-Montage bitt Stabilitéit an Haltbarkeet, déi néideg sinn, fir déi kontinuéierlech a widderhuelend Bewegungszyklen ze widderstoen.
Zesummegefaasst ass d'Uwendung vun der Granitbaugrupp an der Hallefleederindustrie enorm. Seng Eegeschafte wéi Dimensiounsstabilitéit, niddreg thermesch Expansioun, héich Steifheet a Schwéngungsdämpfung maachen et zu engem ideale Material fir a verschiddene Phasen vun der Fabrikatioun vu Hallefleederapparater ze benotzen. Vum Bau vun héichpräzise Maschinenwierkzeugs a Metrologieausrüstung bis hin zu opteschen Dëscher a Waferstufen a Spannfuttern, spillen d'Eegeschafte vu Granit eng entscheedend Roll fir d'Stabilitéit, d'Genauegkeet an d'Widderhuelbarkeet ze garantéieren, déi néideg sinn, fir eng héichqualitativ Fabrikatioun vu Hallefleederapparater z'erreechen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 06.12.2023