An der Hallefleederindustrie ass d'Waferinspektioun e Schlësselelement fir d'Qualitéit an d'Performance vum Chip ze garantéieren, an d'Genauegkeet an d'Stabilitéit vum Inspektiounsdësch spillen eng entscheedend Roll bei den Detektiounsresultater. Granitbasis mat senge eenzegaartegen Eegeschafte gëtt déi ideal Wiel fir Hallefleeder-Waferinspektiounsdëscher, déi folgend aus der multidimensionaler Analyse fir Iech sinn.
Éischtens, d'Dimensioun vun der Präzisiounsgarantie
1. Ultrahéich Flaachheet a Geriichtheet: D'Granitbasis gëtt mat fortgeschrattener Veraarbechtungstechnologie veraarbecht, an d'Flaachheet kann eng Genauegkeet vun ±0,001 mm/m oder souguer méi héich erreechen, an d'Geriichtheet ass och exzellent. Beim Waferinspektiounsprozess bitt déi héichpräzis Fläch eng stabil Ënnerstëtzung fir de Wafer a garantéiert e präzise Kontakt tëscht der Sond vum Inspektiounsgerät an de Läitverbindungen op der Waferuewerfläch.
2. Ganz nidderegen thermeschen Ausdehnungskoeffizient: D'Hallefleederproduktioun ass empfindlech op Temperaturännerungen, an den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu Granit ass extrem niddreg, normalerweis ongeféier 5×10⁻⁶/℃. Wann d'Detektiounsplattform leeft, och wann d'Ëmfeldtemperatur schwankt, ännert sech d'Gréisst vun der Granitbasis ganz wéineg. Zum Beispill, an der Héichtemperaturatelier am Summer kann d'Temperatur vun der Detektiounsplattform op Basis vu gemeinsamer Metallbasis dozou féieren, datt d'relativ Positioun vum Wafer an der Detektiounsausrüstung sech verännert, wat d'Detektiounsgenauegkeet beaflosst; D'Detektiounsplattform op Basis vu Granit kann d'Stabilitéit behalen, d'relativ Positiounsgenauegkeet vum Wafer an der Detektiounsausrüstung während dem Detektiounsprozess garantéieren an eng stabil Ëmwelt fir eng héichpräzis Detektioun bidden.
Zweetens, Stabilitéitsdimensioun
1. Stabil Struktur a Schwéngungsbeständegkeet: Granit ass no Millioune Joer geologesche Prozesser dicht an eenheetlech. Am komplexen Ëmfeld vun enger Hallefleederfabréck ginn d'Vibratiounen, déi duerch de Betrib vu Peripheriegeräter a Personal, dat ronderëm trëppelt, entstinn, effektiv duerch de Granitbasis ofgeschwächt.
2. Genauegkeet bei laangfristeger Benotzung: Am Verglach mat anere Materialien huet Granit eng héich Häert, e staarke Verschleißbeständegkeet, an d'Mohs-Häert kann 6-7 erreechen. D'Uewerfläch vum Granitbasis gëtt net einfach ofgenotzt bei reegelméissege Waferbelaaschtungen, Entluedungen an Inspektiounsoperatiounen. No der tatsächlecher Benotzung vun den Datenstatistiken kann d'Benotzung vun engem Granitbasis-Testdësch, no 5000 Stonnen kontinuéierlecher Operatioun, d'Flaachheet an d'Geradeheetsgenauegkeet ëmmer nach op méi wéi 98% vun der initialer Genauegkeet erhale bleiwen, wat d'Ausrüstung duerch de Verschleiß vun der Basis duerch reegelméisseg Kalibrierungs- an Ënnerhaltszäiten reduzéiert, d'Geschäftskäschte reduzéiert an d'laangfristeg Stabilitéit vun der Testaarbecht garantéiert.
Drëttens, propper an Anti-Interferenz Dimensioun
1. Niddreg Stëbsproduktioun: D'Ëmfeld vun der Hallefleederproduktioun muss ganz propper sinn, an d'Granitmaterial selwer ass stabil an et entstinn net einfach Stëbspartikelen. Wärend dem Betrib vun der Testplattform gëtt verhënnert, datt de Stëbs, deen vun der Basis generéiert gëtt, de Wafer verschmotzt, an de Risiko vu Kuerzschluss an oppene Schaltungen, déi duerch Stëbspartikelen verursaacht ginn, gëtt reduzéiert. Am Waferinspektiounsberäich vum staubfräie Werkstatt gëtt d'Stëbskonzentratioun ronderëm den Inspektiounsdësch vun der Granitbasis ëmmer op en extrem niddregen Niveau kontrolléiert, wat déi streng Rengheetsufuerderunge vun der Hallefleederindustrie erfëllt.
2. Keng magnetesch Stéierungen: D'Detektiounsausrüstung ass empfindlech op déi elektromagnetesch Ëmwelt, a Granit ass en net-magnetescht Material, dat net den elektronesche Signal vun der Detektiounsausrüstung stéiert. Beim Gebrauch vun der Elektronestrahldetektioun an aner Testtechnologien, déi eng extrem héich elektromagnetesch Ëmwelt erfuerderen, garantéiert d'Granitbasis déi stabil Iwwerdroung vum elektronesche Signal vun der Detektiounsausrüstung an d'Genauegkeet vun den Testergebnisse. Zum Beispill, wann de Wafer op héichpräzis elektresch Leeschtung getest gëtt, vermeit déi net-magnetesch Granitbasis Stéierungen mat den Detektiounsstroum- a Spannungssignaler, sou datt d'Detektiounsdaten d'elektresch Charakteristike vum Wafer wierklech reflektéieren.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 31. Mäerz 2025