Studie iwwer de Schwellwäert vum Afloss vun der Ëmgéigungstemperaturschwankung op d'Miessgenauegkeet vu Granitpräzisiounsplattformen.

Am Beräich vun der Präzisiounsmiessung ass d'Prezisiounsplattform vu Granit mat senger exzellenter Stabilitéit, héijer Häert a gudder Verschleissbeständegkeet zur idealer Fundamentsënnerstëtzung fir vill héichpräzis Miessaarbechten ginn. Wéi och ëmmer, d'Temperaturschwankungen an d'Ëmweltfaktoren, wéi de "Precision Killer", deen am Däischteren verstoppt ass, hunn en net vernoléissegbaren Afloss op d'Miessgenauegkeet vun der Präzisiounsplattform vu Granit. Et ass vu grousser Bedeitung, den Aflossschwellwäert grëndlech z'ënnersichen, fir d'Genauegkeet an d'Zouverlässegkeet vun der Miessaarbecht ze garantéieren.

Obwuel Granit fir seng Stabilitéit bekannt ass, ass en net immun géint Temperaturännerungen. Seng Haaptkomponente si Quarz, Feldspat an aner Mineralstoffer, déi bei verschiddenen Temperaturen thermesch Expansiouns- a Kontraktiounsphänomener verursaachen. Wann d'Ëmfeldtemperatur eropgeet, gëtt d'Prezisiounsplattform vu Granit erhëtzt an ausdehnt, an d'Gréisst vun der Plattform ännert sech liicht. Wann d'Temperatur fällt, schrumpft se zréck op hiren ursprénglechen Zoustand. Scheinbar kleng Gréisstännerunge kënnen zu Schlësselfaktoren vergréissert ginn, déi d'Miessresultater a Präzisiounsmiessszenarien beaflossen.

Wann een zum Beispill den übleche Koordinatenmiessinstrument fir d'Upassung vun der Granitplattform hëlt, erreechen d'Ufuerderunge fir d'Miessgenauegkeet bei héichpräzisen Miessungen dacks de Mikrometerniveau oder souguer méi héich. Et gëtt ugeholl, datt bei enger Standardtemperatur vun 20 ℃ déi verschidden Dimensiounsparameter vun der Plattform an engem idealen Zoustand sinn, an datt genee Donnéeën duerch d'Miessung vum Werkstéck kritt kënne ginn. Wann d'Ëmfeldtemperatur schwankt, ass d'Situatioun ganz anescht. No enger grousser Zuel vun experimentellen Daten, Statistiken an theoreteschen Analysen, ass ënner normalen Ëmstänn, bei enger Temperaturschwankung vun 1 ℃, d'linear Expansioun oder Kontraktioun vun der Präzisiounsplattform vu Granit ongeféier 5-7 × 10⁻⁶/℃. Dëst bedeit, datt fir eng Granitplattform mat enger Säitelängt vun 1 Meter d'Säitelängt sech ëm 5-7 Mikrometer änneren kann, wann d'Temperatur sech ëm 1 °C ännert. Bei Präzisiounsmiessungen ass sou eng Gréisstännerung genuch, fir Miessfehler iwwer den akzeptablen Beräich eraus ze verursaachen.
Fir d'Miessaarbecht, déi duerch ënnerschiddlech Genauegkeetsniveauen erfuerderlech ass, ass den Aflossschwellwäert vun der Temperaturschwankung och ënnerschiddlech. Bei normale Präzisiounsmiessungen, wéi d'Gréisstmiessung vu mechaneschen Deeler, wann de zulässege Miessfehler bannent ±20 Mikrometer läit, muss d'Temperaturschwankung, laut der uewe genannter Berechnung vum Expansiounskoeffizient, am Beräich vun ± 3-4 ℃ kontrolléiert ginn, fir de Miessfehler, deen duerch d'Ännerung vun der Plattformgréisst verursaacht gëtt, op en akzeptabelen Niveau ze kontrolléieren. A Beräicher mat héije Präzisiounsufuerderungen, wéi d'Miessung vum Lithographieprozess an der Fabrikatioun vu Hallefleederchips, ass de Feeler bannent ±1 Mikrometer erlaabt, an d'Temperaturschwankung muss strikt bannent ± 0,1-0,2 °C kontrolléiert ginn. Soubal d'Temperaturschwankung dëse Schwellwäert iwwerschreit, kann d'thermesch Expansioun an d'Kontraktioun vun der Granitplattform Ofwäichungen an de Miessresultater verursaachen, wat den Ausbezuele vun der Chipfabrikatioun beaflosse wäert.
Fir den Afloss vun der Ëmgéigendtemperaturschwankung op d'Miessgenauegkeet vun der Granitpräzisiounsplattform ze bewältegen, gi vill Moossnamen an der Praxis dacks ugeholl. Zum Beispill gëtt héichpräzis Konstanttemperaturausrüstung an der Miessëmfeld installéiert, fir d'Temperaturschwankung an engem ganz klenge Beräich ze kontrolléieren; eng Temperaturkompensatioun gëtt op de Miessdaten duerchgefouert, an d'Miessresultater ginn duerch e Softwarealgorithmus no dem thermeschen Ausdehnungskoeffizient vun der Plattform an den Echtzäittemperaturännerungen korrigéiert. Egal wéi eng Moossname geholl ginn, e geneet Verständnis vum Afloss vun der Ëmgéigendtemperaturschwankungen op d'Miessgenauegkeet vun der Granitpräzisiounsplattform ass awer d'Viraussetzung fir eng korrekt a zouverlässeg Miessaarbecht ze garantéieren.