Granitmaterialien gi wäit an der Hallefleederindustrie benotzt wéinst hiren exzellenten Eegeschaften, wéi héijer Stabilitéit, gerénger thermescher Expansioun an héijer Korrosiounsbestännegkeet. Dës Eegeschafte maachen Granit zu engem ideale Material fir de Bau vun héichpräzisen Komponenten an engem Wafertransfersystem.
Am Prozess vun der Hallefleederherstellung spillt de Wafer-Transfersystem eng entscheedend Roll beim Transport vu Waferen duerch déi verschidden Etappen vum Fabrikatiounsprozess. Präzisioun a Genauegkeet sinn déi wesentlech Ufuerderunge fir dës Systemer, well souguer kleng Ofwäichunge kéinten de ganze Prozess a Gefor bréngen. Dofir mussen d'Komponenten am Wafer-Transfersystem aus héichwäertege Materialien hiergestallt ginn, a Granit erfëllt dës Critèren.
E puer Deeler vum Wafer-Transfersystem, déi aus Granitmaterialien hiergestallt sinn, enthalen:
1. Vakuum-Spannfutter-Dësch
Den Vakuum-Spanndësch gëtt benotzt fir de Wafer während dem Prozess ze halen, an en muss eng stabil Uewerfläch hunn, fir sécherzestellen, datt de Wafer net beschiedegt gëtt. Granit ass en ideal Material fir dësen Dësch ze maachen, well en eng flaach, net-poréis Uewerfläch huet, déi eng héich Stabilitéit a Präzisioun bitt. Zousätzlech huet Granit e niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung, wat en resistent géint Temperaturännerungen mécht, déi Dimensiounsännerungen am Wafer verursaache kéinten.
2. Loftlagerstufe
D'Loftlagerstufe gëtt benotzt fir de Wafer duerch déi verschidden Etappen vum Fabrikatiounsprozess ze transportéieren. D'Stuf ass sou konstruéiert, datt se eng reibungslos Bewegung garantéiert, wat eng héich Präzisioun a Stabilitéit erfuerdert. Granit gëtt an dëser Applikatioun benotzt, well et e steife a haarde Steen ass, an e sech mat der Zäit géint Deformatioun a Verschleiung widersetzt.
3. Linear Bewegungsführen
D'linear Bewegungsféierungen gi benotzt fir d'Loftlagerstufe ze féierungen, a si mussen präzis positionéiert sinn fir Feeler ze minimiséieren. Granit gëtt benotzt fir dës Féierung ze bauen, well se eng exzellent mechanesch Stabilitéit a Festigkeit huet. D'Material ass och korrosiounsbeständeg, wat d'Längslebensdauer vum Féierungssystem garantéiert.
4. Metrologieausrüstung
Metrologie-Ausrüstung gëtt benotzt fir d'Dimensiounen an d'Eegeschafte vun der Wafer während dem Fabrikatiounsprozess ze moossen. Granit ass en idealt Material fir dës Ausrüstung ze bauen, well et eng héich Steifheet, eng niddreg Expansioun an eng minimal Deformatioun ënner Belaaschtung huet. Ausserdeem garantéiert d'thermesch Stabilitéit vu Granit, datt d'Metrologie-Ausrüstung iwwer Zäit stabil a präzis bleift.
Schlussendlech baséiert d'Halbleiterindustrie op Präzisioun a Genauegkeet, a Granitmaterialien hunn sech als héich zouverlässeg a stabil am Fabrikatiounsprozess bewisen. Well vill kritesch Komponenten am Wafertransfersystem héich Stabilitéit, Präzisioun a geréng thermesch Expansioun erfuerderen, hunn Ingenieuren sech op Granitmaterialien konzentréiert fir dës kritesch Ufuerderungen ze erfëllen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 19. Mäerz 2024