Granitmaterialien gi wäit an der Hallefleitindustrie benotzt wéinst hiren exzellente Charakteristiken, wéi héich Stabilitéit, geréng thermesch Expansioun an héich Korrosiounsbeständegkeet.Dës Eegeschafte maachen Granit en idealt Material fir héichpräzis Komponenten an engem Wafer Transfersystem ze bauen.
Am Semiconductor Fabrikatiounsprozess spillt de Wafer Transfersystem eng kritesch Roll beim Transport vu Waferen iwwer verschidden Etappe vum Fabrikatiounsprozess.Präzisioun a Genauegkeet sinn déi wesentlech Ufuerderunge fir dës Systemer, well souguer liicht Ofwäichunge kënnen de ganze Prozess a Gefor bréngen.Dofir musse Komponenten am Wafer-Transfersystem aus héichqualitativen Materialien gemaach ginn, a Granit entsprécht dëse Critèren.
E puer Deeler vum Wafer Transfersystem, déi aus Granitmaterialien gemaach ginn, enthalen:
1. Vakuum Chuck Table
De Vakuum Chuck Dësch gëtt benotzt fir de Wafer während dem Prozess ze halen, an et muss eng stabil Uewerfläch hunn fir sécherzestellen datt de Wafer net beschiedegt ass.Granit ass en idealt Material fir dësen Dësch ze maachen, well et eng flaach, net-porös Uewerfläch huet déi héich Stabilitéit a Präzisioun ubitt.Zousätzlech huet Granit e nidderegen thermesche Expansiounskoeffizient, wat et resistent géint Temperaturännerunge mécht, déi Dimensiounsännerungen an der Wafer verursaache kënnen.
2. Air-Bearing Etapp
D'Loftlagerstuf gëtt benotzt fir de Wafer duerch verschidden Etappe vum Fabrikatiounsprozess ze transportéieren.D'Bühn ass konstruéiert fir eng Reibungslos Bewegung ze bidden, déi héich Präzisioun a Stabilitéit erfuerdert.Granit gëtt an dëser Applikatioun benotzt well et e steife an haarde Steen ass, an et widderstoen Verformung a Verschleiung iwwer Zäit.
3. Linearschrëft Motion Guiden
Déi linear Bewegungsguide ginn benotzt fir d'Loftlagerstufe ze guidéieren, a si musse präzis positionéiert sinn fir Feeler ze minimiséieren.Granit gëtt benotzt fir dëse Guide ze bauen well et exzellent mechanesch Stabilitéit a Kraaft huet.D'Material ass och korrosionsbeständeg, wat d'Längegkeet vum Guidesystem garantéiert.
4. Metrologie Equipement
Metrologie Ausrüstung gëtt benotzt fir d'Dimensioune an d'Eegeschafte vum Wafer wärend dem Fabrikatiounsprozess ze moossen.Granit ass en idealt Material fir dës Ausrüstung ze bauen well et héich Steifheit, geréng Expansioun a minimal Verformung ënner Laascht huet.Ausserdeem garantéiert d'thermesch Stabilitéit vum Granit datt d'Metrologieausrüstung iwwer Zäit stabil a korrekt bleift.
Als Conclusioun hänkt d'Hallefuederindustrie op Präzisioun a Genauegkeet of, a Granitmaterialien hu sech als héich zouverlässeg a stabil am Fabrikatiounsprozess bewisen.Mat villen kriteschen Komponenten am Wafer-Transfersystem, déi héich Stabilitéit, Präzisioun a geréng thermesch Expansioun erfuerderen, hunn d'Ingenieuren sech op Granitmaterialien ëmgewandelt fir dës kritesch Ufuerderungen z'erreechen.
Post Zäit: Mar-19-2024