Granitaterialie ginn wäit an de Hallefinister verbraucht ginn duerch hir extrem exzellent Charakteristiken, sou héichstämmegend Angschtgefaart, an héich Errässung Dës Eegeschafte maachen Granit en ideale Material fir héich Präzisiounskomponenten an engem Wandentransfer System.
Am semiconductor Fabrikatiounsprozess, de Wandransfer System spillt eng kritesch Roll am Transport op verschidden Etappe vum Fabrikatioun vum Fabrikatiounsprozess. Prêi an Genaugen ass d'wichtegst Virdeeler fir dëse Systemstäter wéi liicht Demissioun dierfen säi ganzen Spiko vum Ofschwand fir d'Gewëssen entstoppt. Dofir, Komponenten am Wandbezunnentransfer muss aus héichwäertege Materialien gemaach ginn, a Granit, déi d'Critèren entsprécht.
E puer Deeler vum Wafer Transfer System, déi aus Granitmaterial gemaach ginn:
1. Vakuum Chuck Dësch
De Vakuum Chuck Dësch gëtt benotzt fir de Wafer wärend dem Prozess ze halen, an et muss eng stabiler Uewerfläch hunn fir ze garantéieren datt d'Wuere net beschiedegt gëtt. Granit ass en ideale Material fir dësen Dësch ze maachen well et eng flaacher, net-politesch Uewerfläch huet déi héich Stabilitéit a Präzisioun wäert ginn. Zousätzlech huet Granit e niddereg Koeffizient Erweiderung, et mécht et resistent fir d'Temperatur Ännerungen ze verursaache kënnen, déi däitlech Ännerungen an der Wasser verursaache kënnen.
2. Air-Lagerstadium
D'Air-Lager Etapp gëtt benotzt fir de Rendung duerch verschidde Stadien vum Fabrikatiounsprozess ze transportéieren. D'Bühn ass iwwerrascht fir eng frientionlos Bewegung ze bidden, déi héich Präzisioun a Stabilitéit erfuerdert. Granit gëtt an dëser Applikatioun benotzt well et en steif an haart Steen, an et widdersteet d'Deformatioun an der Dichtung.
3. Linear Motioun Guiden
Déi linear Bewegungsfuicher gi benotzt fir d'Air-Lagerstadium ze guidéieren, a si musse richteg positionéiert ginn fir Feeler ze minimiséieren. Granit gëtt benotzt fir dëse Guide ze bauen well et huet eng exzellesch merconesch Stabilitéit a Kraaft. D'Persoun kann och Eropro resistent, déi d'Liewenszäit vum Guide Systemer z d'sen evalstelléiere.
4. Metrologie Ausrüstung
Metrologologie Equipement gëtt benotzt fir d'Dimensiounen an Eegeschafte vum Wafer während dem Fabrikatiounsprozess ze moossen. Grannit ass en ideal Material fir dësen Ausrankung ze bauen, well et héich Steifheit, niddereg Expriegung huet, an minimal Ofstilung ënner Lued. Desweideren, Granit ass thermesch Stabilitéit garantéiert datt d'Metroologie Ausrüstung stabil a korrekt an korrekt Zäit bleift.
Zu Conclusioun, d'Semikallander Industrie verbonnen an der Präzisioun an der Genauegkeet, an der Granitemmaterialien hunn bewisen héich zouverléisseg an stabil an der Fableage. Mat ville kriteschen Komponenten am Wandferrärsrans System erfuerderen d'Stabilitéit, bei där Niddirrelheet, an dës Staarkstänneg Material ze treffen
Postzäit: Mar-19-2024