Granit ass en haart an haltbaart Material, dat dacks an der Bauindustrie benotzt gëtt. Et huet awer och Eegeschaften, déi et nëtzlech maachen an der Hallefleederproduktioun, besonnesch bei der Fabrikatioun an der Veraarbechtung vun integréierte Schaltungen. Granitkomponenten, wéi Granitdëscher a Granitblöcke, gi wäit verbreet wéinst hirer Stabilitéit, Flaachheet an hirem niddrege Wärmeausdehnungskoeffizient.
Ee vun den Haaptanwendungen vu Granitkomponenten an der Hallefleederproduktioun ass am Fabrikatiounsprozess. Siliziumwaferen, déi grondleeënd Bausteng vun integréierte Schaltungen, musse mat héijer Präzisioun a Genauegkeet hiergestallt ginn. All Verzerrung oder Bewegung während dem Prozess kann zu Mängel féieren, déi d'Qualitéit an d'Funktionalitéit vun den integréierte Schaltungen beaflosse kënnen. Granitdëscher, mat hirer héijer Stabilitéit a Flaachheet, bidden eng gutt Plattform fir d'Waferveraarbechtungsausrüstung. Si sinn och resistent géint thermesch Expansioun a Kontraktioun, déi duerch d'Heizung an d'Ofkillung verursaacht ginn, déi am Prozess erfuerderlech sinn.
Granitblöcke ginn och an der Hallefleederveraarbechtung wéinst hirer thermescher Stabilitéit benotzt. Wärend Ätz- oder Depositiounsprozesser ginn waarm Gaser oder Plasmaer benotzt fir d'Uewerfläch vum Siliziumwafer ze modifizéieren. D'Temperatur vum Wafer muss kontrolléiert ginn, fir sécherzestellen, datt de Prozess effizient a präzis duerchgefouert gëtt. Granitblöcke mat hirem niddrege thermesche Expansiounskoeffizient hëllefen d'Temperatur vum Wafer ze stabiliséieren, wouduerch de Risiko vun Temperaturschwankungen reduzéiert gëtt, déi d'Qualitéit vum veraarbechte Material beaflosse kéinten.
Nieft de Fabrikatiouns- a Veraarbechtungsprozesser gi Granitkomponenten och an de Metrologie- an Inspektiounsstadien vun der Hallefleederproduktioun benotzt. Metrologiemiessunge gi gemaach fir sécherzestellen, datt d'Gréisst, d'Form an d'Positioun vun de Strukturen um Wafer bannent den erfuerderleche Spezifikatioune sinn. Granitblöcke ginn als Referenzstandarden an dëse Miessunge benotzt wéinst hirer Dimensiounsstabilitéit a Genauegkeet. Si ginn och an Inspektiounsstadien benotzt, wou d'Qualitéit vun den integréierte Schaltungen ënner héijer Vergréisserung iwwerpréift gëtt.
Insgesamt ass d'Benotzung vu Granitkomponenten an der Hallefleederproduktioun an de leschte Jore zougeholl. De Besoin no héijer Präzisioun, Genauegkeet a Stabilitéit bei der Fabrikatioun an der Veraarbechtung vun integréierte Schaltungen huet d'Adoptioun vun dëse Materialien duerch Hallefleederhersteller ugedriwwen. Déi eenzegaarteg Eegeschafte vu Granit, wéi seng Häert, Stabilitéit a niddrege Wärmeausdehnungskoeffizient, maachen et zu enger exzellenter Wiel fir d'Benotzung an dëse Prozesser. Mat der weiderer Entwécklung an Verbesserung vun der Hallefleedertechnologie gëtt erwaart, datt d'Benotzung vu Granitkomponenten an Zukunft weider wäert wuessen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 05. Dezember 2023