A Beräicher wéi Hallefleederproduktioun a Präzisiounsmiessinstrumenter bestëmmt d'Genauegkeet vu Granitpräzisiounsplattforme direkt d'Operatiounsqualitéit vun der Ausrüstung. Fir sécherzestellen, datt d'Genauegkeet vun der Plattform de Standarden entsprécht, sollten zwou Aspekter berécksiichtegt ginn: d'Detektioun vu Schlësselindikatoren an d'Konformitéit mat Standardnormen.
Kärindikatordetektioun: Multidimensional Kontroll vun der Genauegkeet
Flaachheetserkennung: Bestëmmung vun der "Flaachheet" vun der Referenzfläch
Flaachheet ass den Haaptindikator vu Präzisiounsplattforme vu Granit a gëtt normalerweis mat Laserinterferometer oder elektronesche Waasserwaagen gemooss. De Laserinterferometer kann déi kleng Wellen op der Plattformuewerfläch präzis moossen, andeems en e Laserstrahl ausstraalt an de Prinzip vun der Liichtinterferenz benotzt, mat enger Genauegkeet déi bis op e Submikrometerniveau erreecht. Den elektronesche Waasserwaag moosst andeems en sech e puermol beweegt a zitt eng dräidimensional Konturkaart vun der Plattformuewerfläch fir festzestellen, ob et lokal Virspréng oder Verdéiwungen gëtt. Zum Beispill mussen d'Granitplattforme, déi a Hallefleeder-Photolithographie-Maschinnen benotzt ginn, eng Flaachheet vun ±0,5 μm/m hunn, dat heescht, datt den Héichtenënnerscheed bannent enger Längt vun 1 Meter net méi wéi en hallwe Mikrometer däerf sinn. Nëmme mat héichpräzisen Detektiounsausrüstung kann dëse strenge Standard garantéiert ginn.
2. Geriichtheetserkennung: Sécherstellen, datt d'"Geriichtheet" vun der linearer Bewegung
Fir Plattformen, déi präzis bewegend Deeler droen, ass d'Riichtheet vu vitaler Wichtegkeet. Déi üblech Methode fir d'Detektioun sinn d'Drotmethod oder de Laserkollimator. D'Drotmethod besteet doran, héichpräzis Stahldrote opzehänken an d'Lück tëscht der Plattformuewerfläch an de Stahldrote ze vergläichen, fir d'Riichtheet ze bestëmmen. De Laserkollimator benotzt déi linear Ausbreedungseigenschaften vum Laser, fir de lineare Feeler vun der Installatiounsuewerfläch vun der Plattformführungsschinn z'entdecken. Wann d'Riichtheet net dem Standard entsprécht, wäert et dozou féieren, datt d'Ausrüstung sech während der Bewegung verréckelt, wat d'Veraarbechtungs- oder Miessgenauegkeet beaflosst.
3. Detektioun vun der Uewerflächenrauheet: Sécherstellen, datt d'"Feinheet" vum Kontakt festgestallt gëtt
D'Uewerflächenrauheet vun der Plattform beaflosst d'Passform vun der Komponenteninstallatioun. Am Allgemengen gëtt e Stylus-Rauheetsmesser oder en optescht Mikroskop fir d'Detektioun benotzt. Den Instrument vum Stylus-Typ registréiert d'Héichtännerungen vum mikroskopesche Profil andeems en d'Plattformuewerfläch mat enger feiner Sond beréiert. Optesch Mikroskope kënnen d'Uewerflächentextur direkt observéieren. Bei héichpräzisen Uwendungen muss d'Uewerflächenrauheet vu Granitplattforme op Ra≤0,05μm kontrolléiert ginn, wat engem spigelfërmegen Effekt entsprécht, fir sécherzestellen, datt Präzisiounskomponenten während der Installatioun enk passen an Vibratiounen oder Verrécklungen, déi duerch Lächer verursaacht ginn, vermeit ginn.
D'Präzisiounsnormen sinn: international Normen an intern Kontroll vum Betrib
Aktuell ginn international d'Normen ISO 25178 an GB/T 24632 dacks als Basis fir d'Bestimmung vun der Genauegkeet vu Granitplattforme benotzt, an et gëtt kloer Klassifikatioune fir Indikatoren wéi Flaachheet a Geriichtheet. Zousätzlech setzen High-End-Produktiounsbetriber dacks méi streng intern Kontrollnormen. Zum Beispill ass d'Flaachheetsufuerderung fir d'Granitplattform vun der Photolithographiemaschinn 30% méi héich wéi den internationale Standard. Bei der Duerchféierung vun Tester sollten déi gemoossen Donnéeën mat de jeeweilege Standarde verglach ginn. Nëmme Plattformen, déi vollstänneg den Norme entspriechen, kënnen eng stabil Leeschtung a Präzisiounsausrüstung garantéieren.
D'Inspektioun vun der Genauegkeet vu Präzisiounsplattforme aus Granit ass e systematescht Projet. Nëmmen duerch strikt Tester vu Kärindikatoren wéi Flaachheet, Geriichtheet a Uewerflächenrauheet, an d'Anhale vun internationalen an Entreprisenormen, kann déi héich Präzisioun a Zouverlässegkeet vun der Plattform garantéiert ginn, wat eng solid Basis fir High-End-Produktiounsberäicher wéi Hallefleeder a Präzisiounsinstrumenter leet.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 21. Mee 2025