Granitmaschinnebasen gi vill a Waferveraarbechtungsausrüstungsprodukter benotzt wéinst hiren iwwerleeënen Eegeschafte wéi héich Steifheet, Stabilitéit a Präzisioun. D'Montage, d'Testung an d'Kalibrierung vun enger Granitmaschinnebas ass e kritesche Prozess, deen déi gréisst Opmierksamkeet op Detailer, Präzisioun a Genauegkeet erfuerdert. An dësem Artikel wäerte mir de Schrëtt-fir-Schrëtt Prozess vun der Montage, dem Testen an der Kalibrierung vun enger Granitmaschinnebas fir Waferveraarbechtungsausrüstungsprodukter diskutéieren.
Montage
Den éischte Schrëtt ass d'Granit-Uewerflächeplack, d'Basis an d'Sail fir d'Montage virzebereeden. Vergewëssert Iech, datt all Uewerfläche propper, dréchen a fräi vun Dreck, Stëbs oder Ueleg sinn. Setzt d'Nivelstellstëfter an d'Basis an setzt d'Uewerflächeplack drop. Ajustéiert d'Nivelstellstëfter sou, datt d'Uewerflächeplack horizontal a gläich ass. Vergewëssert Iech, datt d'Uewerflächeplack gläichméisseg mat der Basis an der Sail läit.
Als nächst, installéiert d'Sail op der Basis a befestegt se mat Schrauwen. Benotzt en Dréimomentschlëssel fir d'Schrauwen op de vum Hiersteller empfohlene Dréimoment unzezéien. Kontrolléiert den Niveau vun der Sail a passt d'Niveaujustierungsbolzen un, wann néideg.
Schlussendlech, installéiert d'Spindel uewen op der Sail. Benotzt en Dréimomentschlëssel fir d'Schrauwen op de vum Hiersteller empfohlene Dréimoment unzezéien. Kontrolléiert den Niveau vun der Spindel an ajustéiert d'Niveaustauschbolzen, wann néideg.
Testen
Nodeems d'Maschinnebasis zesummegebaut gouf, ass den nächste Schrëtt hir Funktionalitéit a Genauegkeet ze testen. Schléisst d'Stroumversuergung un a schalt d'Maschinn un. Vergewëssert Iech, datt all Komponenten wéi Motoren, Zännrieder, Riemen a Lager richteg funktionéieren a keng Anomalien oder ongewéinlech Geräischer hunn.
Fir d'Genauegkeet vun der Maschinn ze testen, benotzt e Präzisiounsmesser fir de Spillofstand vun der Spindel ze moossen. Setzt de Messer op d'Uewerflächeplack a dréit d'Spindel. De maximal zulässege Spillofstand soll manner wéi 0,002 mm sinn. Wann de Spillofstand méi grouss ass wéi déi zulässlech Limit, ajustéiert d'Niveléierungsstëfter a kontrolléiert nach eng Kéier.
Kalibratioun
D'Kalibrierung ass de wichtegste Schrëtt fir d'Genauegkeet a Präzisioun vun der Maschinnbasis ze garantéieren. De Kalibrierungsprozess ëmfaasst d'Testung an d'Upassung vun de Parameteren vun der Maschinn, wéi Geschwindegkeet, Positionéierung a Genauegkeet, fir sécherzestellen, datt d'Maschinn den Spezifikatioune vum Hiersteller entsprécht.
Fir d'Maschinn ze kalibréieren, braucht Dir en Kalibrierungsinstrument, deen en Laserinterferometer, e Lasertracker oder eng Ballbar enthält. Dës Instrumenter moossen d'Bewegung, d'Positioun an d'Ausriichtung vun der Maschinn mat héijer Genauegkeet.
Fänkt un andeems Dir d'linear an d'winkelachs vun der Maschinn moosst. Benotzt d'Kalibratiounsinstrument fir d'Bewegung an d'Positioun vun der Maschinn iwwer eng spezifizéiert Distanz oder e spezifizéierten Wénkel ze moossen. Vergläicht déi gemoossene Wäerter mat de Spezifikatioune vum Hiersteller. Wann et Ofwäichunge gëtt, passt d'Parameter vun der Maschinn un, wéi z. B. d'Motoren, d'Getrieber an d'Undriwwen, fir déi gemoossene Wäerter an déi zulässlech Grenzen ze bréngen.
Als nächst, test d'Zirkulärinterpolatiounsfunktioun vun der Maschinn. Benotzt d'Kalibratiounsinstrument fir e kreesfërmegen Trajet ze kreéieren an d'Bewegung an d'Positioun vun der Maschinn ze moossen. Vergläicht nach eng Kéier déi gemoossene Wäerter mat de Spezifikatioune vum Hiersteller a passt d'Parameteren un, wann néideg.
Schlussendlech, test d'Widderhuelbarkeet vun der Maschinn. Miess d'Positioun vun der Maschinn op verschiddene Punkten iwwer eng spezifizéiert Period. Vergläicht déi gemoosse Wäerter a kontrolléiert op all Ofwäichungen. Wann et Ofwäichungen gëtt, ajustéiert d'Parameter vun der Maschinn a widderhuelt den Test.
Conclusioun
D'Montage, d'Testung an d'Kalibrierung vun enger Granitmaschinnbasis fir Waferveraarbechtungsprodukter ass e wichtege Prozess, deen Gedold, Opmierksamkeet op Detailer a Präzisioun erfuerdert. Wann Dir dës Schrëtt befollegt, kënnt Dir sécher stellen, datt d'Maschinn den Spezifikatioune vum Hiersteller entsprécht a mat Genauegkeet, Stabilitéit a Präzisioun funktionéiert.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 28. Dezember 2023