IAn der Hallefleederindustrie ass d'Genauegkeet vun der Waferinspektiounsausrüstung entscheedend fir d'Qualitéit vun integréierte Schaltungen ze garantéieren. Héichpräzis Granitmaschinnebasen, wéi déi vun ZHHIMG®, spillen eng wichteg Roll bei der Verbesserung vun der Leeschtung vun esou Ausrüstung. Hei ass, wéi se en Ënnerscheed maachen.
Aussergewéinlech Dimensiounsstabilitéit Granit huet en extrem niddrege Wärmeausdehnungskoeffizient, ongeféier (4–8) × 10⁻⁶/℃, deen däitlech méi niddreg ass wéi vill Metaller. An der streng kontrolléierter Ëmwelt vun Hallefleederfabriken, wou souguer kleng Temperaturschwankungen zu Miessfehler féiere kënnen, bleiwen d'Maschinnebasis vu Granit stabil. Dës Stabilitéit garantéiert, datt d'Positionéierung vu Komponenten an der Waferinspektiounsausrüstung präzis bleift, wouduerch all duerch Wärme verursaacht Ofwäichungen verhënnert ginn, déi d'Prezisioun vun den Inspektiounsresultater beaflosse kéinten.
Iwwerleeën SchwéngungsdämpfungProduktiounsbiedem si meeschtens mat Schwéngungen aus verschiddene Quelle gefëllt. Déi inherent Dämpfungseigenschaften vu Granit, mat engem Dämpfungsverhältnis vun 0,05–0,1, absorbéieren an dissipéieren dës Schwéngungen effektiv. Fir Waferinspektioun
An der Produktioun, déi héichopléisend Biller a präzis Sensormiessungen erfuerdert, ass d'Reduktioun vun de Schwéngungen, déi duerch Granitbasen entstinn, onschätzbar wäertvoll. Si miniméiert d'Interferenzen, déi Biller verschwommen oder Sensordaten verzerre kéinten, sou datt d'Ausrüstung kloer an präzis Informatiounen iwwer d'Uewerfläch an d'intern Struktur vum Wafer erfassen kann.
Héich Steifheet a Verschleißbeständegkeet Mat enger Dicht vun ongeféier 3100 kg/m³ bidden d'Granit-Maschinnebasen vum ZHHIMG® eng bemierkenswäert Steifheet. Si kënnen déi schwéier Komponenten vun der Wafer-Inspektiounsausrüstung ënnerstëtzen, ouni sech ze verformen, wouduerch d'Ausriichtung vun opteschen a mechanesche Systemer erhale bleift. Zousätzlech suergen déi héich Häert (Mohs-Skala 6–7) an déi exzellent Verschleißbeständegkeet vum Granit dofir, datt d'Uewerfläch vun der Maschinnebas mat der Zäit flaach a glat bleift. Dës Konsistenz ass essentiell fir eng laangfristeg Genauegkeet, well all Verschleiung oder Verformung vun der Basis d'Prezisioun vun der Ausrüstung graduell verschlechtere kéint.
Chemesch InertitéitD'Hallefleiterproduktioun ëmfaasst d'Beliichtung mat verschiddene Chemikalien. Déi chemesch Inertitéit vu Granit mécht et resistent géint Korrosioun duerch dës Substanzen. Dës Eegeschaft schützt d'Integritéit vun der Maschinnbasis a verhënnert chemesch verursaachte Schied, déi d'Stabilitéit an d'Genauegkeet vun der Inspektiounsausrüstung beaflosse kéinten.
Schlussendlech sinn héichpräzis Granit-Maschinnebasisen net nëmmen eng Komponent, mä e Schlësselfaktor fir déi héich Genauegkeetsufuerderunge vun der Wafer-Inspektiounsausrüstung z'erreechen. Wann Dir Granit-Maschinnebasisen auswielt, sollt Dir vertrauenswürdeg Ubidder wéi ZHHIMG® wielen. Mat ville Zertifizéierungen an engem Engagement fir Qualitéit garantéiert ZHHIMG®, datt all Granit-Maschinnebasis déi Zouverlässegkeet a Leeschtung liwwert, déi fir fortgeschratt Hallefleederproduktioun gebraucht ginn.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 03. Juni 2025