An der präziser Welt vun der Hallefleederproduktioun ass d'zerstéierend Tester vu Waferen e Schlësselelement fir d'Qualitéit vu Chips ze garantéieren. Déi scheinbar onbedeitend Granitbasis ass tatsächlech den "onbekannte Held", deen d'Detektiounsgenauegkeet bestëmmt. Wéi beaflosst dat d'Testergebnisse? Dësen Artikel wäert eng detailléiert Analyse aus Dimensiounen wéi Materialeegeschaften a strukturellen Design duerchféieren.
1. Stabilt Fundament: Déi natierlech Virdeeler vum Granit leeë eng zolidd Basis fir Präzisioun
1. Excellent seismesch Leeschtung
Wärend dem Betrib vun der Wafer-netzerstéierender Prüfungsausrüstung generéieren d'Rotatioun vum Motor an d'Bewegung vu mechanesche Komponenten Schwéngungen. Wann dës Schwéngungen net effektiv ënnerdréckt ginn, beaflossen se d'Genauegkeet vun den Tester eescht. Den Interieur vum Granit ass enk mat Mineralkristaller wéi Quarz a Feldspat verbonnen. Seng eenzegaarteg Struktur gëtt him eng natierlech Schwéngungsabsorptiounskapazitéit, déi fäeg ass iwwer 90% vun der Schwéngungsenergie vun der Ausrüstung ze absorbéieren. Déi tatsächlech Miessdaten vun engem bestëmmte Hallefleederhersteller weisen datt nom Gebrauch vun der Granitbasis d'Schwéngungsamplitude vun der Detektiounsausrüstung vun 12μm op 2μm reduzéiert gouf, wouduerch d'Ofwäichung vum Detektiounssignal, déi duerch Schwéngungen verursaacht gëtt, effektiv vermeit gëtt.
2. Extrem niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung
Wärend dem Detektiounsprozess beaflossen Faktoren wéi d'Erhëtzung vun der Ausrüstung an Ännerungen vun der Ëmwelttemperatur d'Stabilitéit vun der Maschinnbasis. Gewéinlech Materialien dehnen sech däitlech aus wann se erhëtzt ginn, awer de Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung vu Granit ass nëmmen 1/5 vun deem vu Stol. Och wann d'Ëmfeldtemperatur ëm 10℃ schwankt, kann seng Deformatioun ignoréiert ginn. Dëst erméiglecht et der Granitbasis eng stabil Referenzplattform fir d'Inspektiounsausrüstung ze bidden, sou datt déi relativ Positioun tëscht der Inspektiounssond an dem Wafer ëmmer korrekt bleift an Inspektiounsfeeler, déi duerch thermesch Deformatioun verursaacht ginn, vermeit ginn.
Zweetens, präzis Design: Strukturell Optimiséierung verbessert d'Zouverlässegkeet vun der Detektioun weider.
Héichpräzis Veraarbechtung a Garantie fir Flaachheet
Déi héichqualitativ Granitbasis gëtt mat fortgeschrattener Fënnef-Achs-CNC-Technologie veraarbecht, mat enger Flaachheet vun ±0,5 μm/m, wat eng ultraflaach Installatiounsreferenz fir Inspektiounsausrüstung bitt. Bei der Waferinspektioun sinn d'Vertikalitéit an d'Niveauheet vun der Inspektiounssond entscheedend fir d'Inspektiounsresultater. Eng héichpräzis Granitbasis kann déi präzis Positionéierung vun der Sond garantéieren, wouduerch d'Inspektiounsdaten méi präzis a zouverlässeg sinn.
2. Personnaliséiert strukturell Upassung
Granitmaschinnebasen kënnen fir verschidden net-destruktiv Testausrüstung fir Waferen a Prozessufuerderungen ugepasst ginn. Zum Beispill, fir d'Ufuerderunge vun opteschen Inspektiounsausrüstung fir Liichtreflexioun ze erfëllen, kann d'Uewerfläch vun der Maschinnebas speziell behandelt ginn; Fir d'Installatiounsufuerderunge vun Ultraschall-Testausrüstung ze erfëllen, kann d'Basis mat präzisen Installatiounslächer a Kabelschinnen prefabrizéiert ginn, wat eng séier an präzis Installatioun vun der Ausrüstung erméiglecht an Detektiounsofwäichungen, déi duerch Installatiounsfeeler verursaacht ginn, reduzéiert.
III. Laangfristeg Stabilitéit: Präzisiounsverloscht reduzéieren, deen duerch d'Ënnerhalt vun Ausrüstung verursaacht gëtt
Granit huet eng héich Häert a staark Verschleißbeständegkeet, mat enger Mohs-Häert vu 6 bis 7, wat dräimol sou héich ass wéi gewéinleche Stol. Wärend laangfristegen Inspektiounsoperatiounen ass d'Uewerfläch vun der Maschinnbasis net ufälleg fir Verschleiung a kann ëmmer e gudde Präzisiounszoustand behalen. Am Géigesaz dozou kënnen d'Basen aus anere Materialien Ännerungen an der Installatiounsreferenz vun der Ausrüstung wéinst Verschleiung verursaachen, wouduerch d'Detektiounsgenauegkeet beaflosst gëtt a reegelméisseg Kalibrierung an Ënnerhalt erfuerderlech ass. Déi laang Liewensdauer an héich Stabilitéit vun der Granitbasis reduzéieren effektiv d'Frequenz vun der Ausrüstungsënnerhaltung a senken de Risiko vu Präzisiounsverloscht, deen während dem Ënnerhaltsprozess optriede kann.
Vu Schockbeständegkeet, Hëtztbeständegkeet bis hin zu präzisem Design garantéiert all Eegeschaft vun der Granitbasis d'Genauegkeet vun den net-destruktiven Tester vu Waferen. An der haiteger Ära vun der Hallefleederproduktioun, déi ultimativ Präzisioun verfollegt, ass d'Wiel vun enger héichqualitativer Granitbasis wéi eng zolidd Versécherungsschicht fir d'Genauegkeet an d'Zouverlässegkeet vun den Testergebnisse.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 18. Juni 2025