Am Präzisiounslaboratoire fir d'Produktioun vu Chips gëtt et en scheinbar onopfällegen "Held hannert de Kulissen" - d'Granitmaschinnbasis. Ënnerschätzt dëse Steen net. En ass de Schlëssel fir d'Genauegkeet vun den net-destruktiven Tester vu Waferen ze garantéieren! Haut kucke mer eis un, wéi en d'Detektiounsausrüstung ëmmer "horizontal a vertikal" hält.
1. Gebuer mat engem "stabile Gen"
Granit ass kee gewéinleche Steen. Seng bannenzeg Struktur ass wéi e fest zesummegebonnent "Mineralpuzzle". Quarz, Feldspat an aner Kristaller si ganz enk ugeluecht, mat extrem héijer Dicht a bal kenge Lächer. Dëst ass genee wéi wann een en Haus aus arméiertem Beton baut, wat souwuel fest wéi och stabil ass. Wann d'Inspektiounsausrüstung drop "setzt", och wann se e puer Tonne weit, ass d'Deformatioun vum Granitfundament vernoléissegbar, nëmmen en Zéngtel vun där vu Stol!
Nach méi beandrockend ass, datt et bal keng Angscht virun Temperaturännerungen huet. Gewéinlech Metallmaterialien tendéieren dozou, sech beim Erhëtzen ze "dehnen a Gewiicht zouzehuelen" a beim Ofkille ze "kontraktéieren a méi dënn ze ginn". Wéi och ëmmer, Granit schéngt eng "konstant Temperaturmagie" ze hunn. Wann d'Temperatur ëm 1 ℃ schwankt, ass seng Dehnung a Kontraktioun nëmmen en Dausendstel vun där vun engem mënschlechen Hoer. Et sollt een drop hiweisen, datt och wann et eng liicht Ännerung vun der Temperatur am Testlaboratoire gëtt, d'Granitbasis d'Ausrüstung fest ënnerstëtzen kann an d'Niveauegkeet vum "Ofwäichen" verhënnert.
Zweetens, d'Veraarbechtungstechnik vun "däiwelschen Detailer"
Fir d'Granitbasis méi präzis ze maachen, hunn Ingenieuren "schwaarz Technologie" fir d'Veraarbechtung agesat. Stellt Iech vir, Dir poléiert Steng mat "Super-Sandpapier" aus Diamanten - sou funktionéiert eng Fënnefachs-Schleifmaschinn. Si schleift d'Uewerfläch vum Granit a dräi Schrëtt sou datt se méi flaach ass wéi e Spigel:
Grobschleifen: Als éischt, ewechhuelt d'Uewerflächenonfaarwen vum Steen a kontrolléiert d'Flaachheet op en Zwanzegstel vun engem mënschlechen Hoer.
Halleffeinschleifen: Weider Verfeinerung, mat der Flaachheet déi op ee fofzegstel vun engem mënschlechen Hoer erhéicht gouf.
Feinschleifen: Schlussendlech gëtt et mat ultrafeinem Schleifpulver poléiert, wouduerch eng Flaachheet vun engem Dausendstel vun engem mënschlechen Hoer erreecht gëtt! Op dësem Punkt ass d'Uewerfläch vum Granitbasis wéi eng "horizontal Bühn", déi speziell fir d'Inspektiounsausrüstung gemaach ass.
E puer High-End-Halterungen hunn och e "Smart Brain" - de agebaute Präzisiouns-Niveau ass wéi e "klenge Garde", deen 24 Stonnen am Dag am Déngscht ass. Soubal en erkennt, datt d'Ausrüstung ëm 0,01 Grad gekippt ass (e Wénkel méi kleng wéi dee vun enger Bicspëtz), aktivéiert sech den hydrauleschen Apparat direkt an "riicht" d'Ausrüstung bannent 30 Sekonnen.
Drëttens, en genialen Design verbessert d'Stabilitéit weider
D'Ingenieuren hunn sech och mat der Struktur vun der Maschinnebasis beschäftegt. Den ënneschten Deel ass a Form vun enger hexagonaler Wabenform gemaach, genee wéi e Beiestock, wat net nëmmen d'Gewiicht reduzéiert, mä och den Drock gläichméisseg verdeelt. Wann d'Detektiounssond sech um Wafer beweegt, ass d'Deformatioun op all Punkt vun der Basis bal genau d'selwecht, sou datt d'horizontal Referenz déi ganz Zäit stabil bleift.
Nach méi erstaunlech ass, datt en "onsichtbare Stossdämpfer" - e piezoelektresche Keramikstossdämpfer - tëscht der Basis an dem Buedem installéiert ass. E kann verschidde Schwéngungen tëscht 1 an 1000 Hz wéi e Radar ophuelen an direkt Réckwärtswellen ausstrahlen, fir d'Interferenzen ze "kontinuéierlechen". Zum Beispill sinn d'Schwéngungen, déi duerch de Betrib vun de Maschinnen niewendrun oder d'Rucken vu Gefierer, déi dobausse laanscht fueren, generéiert ginn, all "nëtzlos" virun him.
D'Donnéeë schwätze fir sech selwer: Wéi staark ass den Effekt?
An der Praxis ass d'Leeschtung vun der Granitbasis wierklech erstaunlech:
Optesch Inspektioun: D'Genauegkeet vun der Identifikatioun vun Uewerflächendefekter op Waferen gouf vun 3 Mikron op 1 Mikron verbessert (1 Mikron = eent-sechzegstel vun engem mënschlechen Hoer).
Ultraschalltester: De Feeler bei der Miessung vun der Waferdicke gouf ëm dräi Véirel reduzéiert.
Laangfristeg Benotzung: No engem Joer laangem kontinuéierleche Betrib ass d'Ännerung vun der Niveauitéit bal vernoléissegbar, während normal Maschinnefousse scho laang "verbéckt" sinn.
Vun de Virdeeler vun Naturmaterialien iwwer déi präzis Veraarbechtung an den innovativen Design huet de Granitbasis mat senger "Stäerkt" bewisen, datt wann Dir Splécken präzis erkennen wëllt, dëse Steen wierklech onentbehrlech ass!
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 18. Juni 2025