Detektiounsmethoden fir d'Flaachheet vu Präzisiounsplattforme vu Granit.

An de Beräicher vun der Präzisiounsfabrikatioun a wëssenschaftlecher Fuerschung ass d'Flaachheet vu Präzisiounsplattforme aus Granit e Schlësselindikator fir d'Genauegkeet vun der Ausrüstung ze garantéieren. Hei ass eng detailléiert Aféierung an e puer vun de gängegen Detektiounsmethoden an hir Operatiounsprozeduren.
I. Laserinterferometer-Detektiounsmethod
De Laserinterferometer ass dat bevorzugt Instrument fir héichpräzis Planheetsdetektioun. Zum Beispill den ZYGO GPI XP Laserinterferometer, seng Opléisung kann 0,1 nm erreechen. Beim Duerchféiere vun der Detektioun, riicht d'Liichtquell vum Interferometer als éischt mat der Plattform aus an deelt d'Plattformuewerfläch a 50 mm × 50 mm Rasterberäicher op. Duerno goufen d'Interferenzfransdaten punkt fir Punkt gesammelt, an d'Donnéeë goufen mat dem Zernike-Polynom ugepasst an analyséiert fir de Planheetsfehler ze kréien. Dës Method ass op héichpräzis Plattforme uwendbar a kann Planheetsfehler vun ≤0,5 μm/m² detektéieren. Si gëtt allgemeng bei der Detektioun vu Photolithographiemaschinnen an High-End Dräi-Koordinate-Miessmaschinneplattforme benotzt.
Ii. Method vun der elektronescher Niveau-Array
D'Detektioun vum elektronesche Waasserniveau ass einfach ze bedéngen an héich effizient. Den elektronesche Waasserniveau vun TESA A2 (mat enger Opléisung vun 0,01 μm/m) gouf ausgewielt an an engem 9×9-Array laanscht d'X/Y-Achsrichtung vun der Plattform arrangéiert. Duerch d'synchron Erfaassung vun den Neigungsdaten vun all Niveau an d'Berechnung mat der Method vun de klengste Quadraten kann de Wäert vun der Flachheet genee bestëmmt ginn. Dës Method kann effektiv déi lokal Konkavitéits- a Konvexitéitsbedéngungen vun der Plattform identifizéieren. Zum Beispill kann och eng Schwankung vun 0,2 μm bannent engem Beräich vu 50 mm festgestallt ginn, wat fir eng séier Detektioun an der Masseproduktioun gëeegent ass.
III. Optesch Flaachkristallmethod
D'Method mat optesche Flachkristaller ass gëeegent fir den Noweis vu Plattforme mat klenger Fläch. Befestegt den optesche Flachkristall fest un d'Uewerfläch, déi getest soll ginn, op der Plattform a beobachtet d'Interferenzfransen, déi tëscht hinnen ënner der Beliichtung vun enger monochromatescher Liichtquell (wéi z.B. enger Natriumlampe) geformt ginn. Wann d'Sträifen parallel riicht Sträifen sinn, weist dat op eng gutt Flachheet hin. Wann gekrëmmt Sträifen optrieden, berechent de Flachheetsfehler op Basis vum Grad vun der Sträifekrümmung. All gekrëmmt Sträif representéiert en Héichtenënnerscheed vun 0,316 μm, an d'Flachheetsdaten kënnen duerch eng einfach Ëmrechnung kritt ginn.
Véier. Inspektiounsmethod fir dräikoordinéiert Miessmaschinnen
Déi dräikoordinatméisseg Miessmaschinn kann héichpräzis Miessungen am dräidimensionale Raum erreechen. Setzt d'Granitplattform op den Aarbechtsdësch vun der Miessmaschinn a benotzt d'Sond fir gläichméisseg Daten aus verschiddene Miesspunkten op der Uewerfläch vun der Plattform ze sammelen. De Miessmaschinnsystem veraarbecht an analyséiert dës Donnéeën fir e Flaachheetsbericht vun der Plattform ze generéieren. Dës Method kann net nëmmen d'Flaachheet detektéieren, mä och aner geometresch Parameter vun der Plattform gläichzäiteg kréien, an ass gëeegent fir déi ëmfaassend Detektioun vu grousse Granitplattformen.
D'Beherrschung vun dësen Detektiounsmethoden kann Iech hëllefen, d'Flaachheet vun der Granitpräzisiounsplattform genee ze bewäerten an eng zouverlässeg Garantie fir de stabile Betrib vu Präzisiounsausrüstung ze bidden.