D'Präzisiounsrevolutioun an der Hallefleederproduktioun: Wann Granit op Mikrontechnologie trëfft
1.1 Onerwaart Entdeckungen an der Materialwëssenschaft
Laut dem Bericht vun der SEMI International Semiconductor Association aus dem Joer 2023 hunn 63% vun den fortgeschrattene Fabriken op der Welt ugefaang Granitfundamenter amplaz vun traditionelle Metallplattformen ze benotzen. Dësen Natursteen, deen aus der Magmakondensatioun déif an der Äerd entsteet, schreift d'Geschicht vun der Hallefleederproduktioun nei wéinst senge eenzegaartege physikaleschen Eegeschaften:
Virdeel vun der thermescher Trägheet: Den thermeschen Ausdehnungskoeffizient vu Granit 4,5 × 10⁻⁶/℃ ass nëmmen 1/5 vun deem vun Edelstol, an d'Dimensiounsstabilitéit vu ± 0,001 mm gëtt an der kontinuéierlecher Aarbecht vun der Lithographiemaschinn erhale gelooss.
Schwéngungsdämpfungseigenschaften: den internen Reibungskoeffizient ass 15 Mol méi héich wéi dee vu Goss, wat d'Mikroschwingungen vun der Ausrüstung effektiv absorbéiert
Nullmagnetiséierungsnatur: eliminéiert de magnéitesche Feeler an der Lasermiessung komplett
1.2 De Wee vun der Metamorphose vu Mine bis Fabréck
Wann ee sech d'intelligent Produktiounsbasis vun ZHHIMG zu Shandong als Beispill ukuckt, muss e Stéck réie Granit folgendes ënnergoen:
Ultra-Prezisiounsbearbechtung: Fënnefachseg Lenkungsbearbechtungszentrum fir 200 Stonne kontinuéierlech Fräsen, Uewerflächenrauheet bis zu Ra0,008μm
Kënschtlech Alterungsbehandlung: 48 Stonne vun natierlecher Spannungsfräisetzung an der Werkstatt mat konstanter Temperatur a Fiichtegkeet, wat d'Stabilitéit vum Produkt ëm 40% verbessert.
Zweetens, déi sechs Präzisiounsproblemer vun der Hallefleederproduktioun "Rock-Léisung" knacken
2.1 Schema fir d'Reduktioun vun der Fragmentéierungsquote vu Waferen
Falldemonstratioun: Nodeems eng Spanengießerei an Däitschland eis Gas-Schwimm-Granitplattform adoptéiert huet:
| Waferduerchmiesser | Reduktioun vun der Chipquote | Verbesserung vun der Flaachheet |
| 12 Zoll | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 Zoll | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Duerchbrochsschema fir d'Genauegkeet vun der lithographescher Ausriichtung
Temperaturkompensatiounssystem: agebaute Keramiksensor iwwerwaacht d'Formvariabel a Echtzäit a passt automatesch d'Plattformschréiegt un
Gemoossene Donnéeën: ënner der Schwankung vun 28 ℃ ± 5 ℃ schwankt d'Abettungsgenauegkeet manner wéi 0,12 μm
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 24. Mäerz 2025