Bei der Produktioun vu Präzisiounsdeeler ass den XY-Präzisiounsaarbechtsdësch wéi e "Superhandwierker", deen dofir verantwortlech ass, d'Deeler sou ze schleifen, datt se genee d'selwecht sinn. Mee heiansdo, och wann d'Operatioun gutt ass, sinn déi produzéiert Deeler net dem Standard entspriechend. Dëst kéint dorun leien, datt de Granitbasis vun der Aarbechtsbank "e Wutanfall mécht"! Haut schwätze mer driwwer, wéi wichteg d'Konsistenz vu Granitbasismaterialien fir d'Präzisiounsveraarbechtung ass.
D'Material ass "ongläichméisseg", an de Problem ass ausgebrach
Stellt Iech eng Granitbasis vir, verschidden Deeler si haart an anerer si mëll; Wat geschitt, wann e puer Plazen sech méi ausdehnen, wann se erhëtzt ginn, an anerer manner?
Vibratiounsungläichgewiicht: Wann d'Dicht op verschiddene Positioune vun der Basis vun der Granitmaschinn net d'selwecht ass, wann den Aarbechtsdësch sech séier beweegt, ass et wéi wann ee géif goen, eng héich an eng niddreg, wat zu Zidderen féiert. Dës Zort Zidderen ass zimlech eescht bei der Präzisiounsveraarbechtung. Zum Beispill, beim Poléiere vun optesche Lënsen, kann et dozou féieren, datt d'Uewerfläch vun de Lënsen rau gëtt. Lënsen, déi ursprénglech e spigelähnlechen Effekt erreeche konnten, kréien eng direkt Schrottquote vun 30%!
Temperatur "verursaacht Problemer": Am Hallefleeder-Photolithographieprozess ass eng präzis Kontroll vun der Positioun noutwendeg. Wann d'thermesch Expansiounskoeffizienten vun de verschiddene Beräicher vun der Granitbasis awer staark variéieren, da wäert d'Basis sech "deforméieren a verzerren", soubal d'Temperatur ännert, wat zu ëmmer méi groussen Positionéierungsfeeler féiert an eventuell zu engem Verschrotten vum ganze Wafer féiert.
Ongläichméisseg Verschleiss: Eng Basis mat ongläicher Häert ass wéi e Paar Schong mat ënnerschiddlechem Verschleissgrad. No laanger Benotzung ginn d'Deeler mat méi gerénger Häert op der Aarbechtsbank méi séier ofgenotzt. Déi ursprénglech riicht Beweegungsbunn gëtt kromm, an d'Riichtheet geet däitlech erof. D'Ënnerhaltskäschte wäerten och staark eropgoen.
Nëmmen wann d'Materialien konsequent sinn, kann d'Veraarbechtung sou stabil sinn wéi um Mount Tai.
Wann d'Materialeegeschafte vun der Granitbasis eenheetlech a konsequent sinn, sinn d'Virdeeler direkt:
Stabil, präzis a staark dynamesch Leeschtung: D'Basis aus konsequenten Materialien kann d'Vibratiounen gläichméisseg absorbéieren, wann den Aarbechtsdësch ufänkt, stoppt oder sech séier dréit. Op dës Manéier kann d'Widderhuelungspositionéierungsgenauegkeet erstaunlech ±0,3 μm erreechen, wat der Präzisioun entsprécht, en mënschlecht Hoer an 300 weider Deeler ze deelen!
Präzis Temperaturantwort: E vereenegten thermeschen Ausdehnungskoeffizient ass wéi d'Installatioun vun engem "intelligenten Temperaturkontrollsystem" op der Basis. Ingenieure kënnen d'Deformatioun vun der Basis präzis viraussoen, wann d'Temperatur ännert. Duerch Algorithmuskompensatioun gëtt de Feeler vun der thermescher Deformatioun bannent ±0,5 μm kontrolléiert.
Extra laang "Liewensdauer": Eng eenheetlech Häert an Dicht suergen dofir, datt all Deeler vun der Basis "gläichméisseg belaascht" ginn, wouduerch exzessive lokale Verschleiss vermeit gëtt. Normal Maschinnebasisse mussen eventuell all fënnef Joer ersat ginn, während héichqualitativ Basisse aus konsequenten Materialien aacht bis zéng Joer halen, wat bedeitend Käschte fir den Ausrüstungsersatz spuert.
Wéi kann een eng "zouverlässeg" Fligerbasis aus Granit auswielen?
Identifizéiert den "Urspronk": Wielt Granit aus der selwechter Mineralschicht an der selwechter Regioun, genee wéi wann Dir Uebst vum selwechte Bam pléckt, dëst kann garantéieren, datt d'Mineralzesummesetzung ähnlech ass.
Streng "kierperlech Untersuchung": Zouverlässeg Granitmaschinnebasen mussen duerch 12 "Kontrollpunkten" goen, wéi z. B. Spektralanalyse an Dichtprüfung, an all Materialien vun ënnerierdesche Qualitéit ginn eliminéiert.
Kontrolléiert d'"Identitéitskaart": Frot de Fournisseur no Qualitéitszertifizéierungen a Testberichter. Nëmmen eng Basis mat enger autoriséierter Zertifizéierungsënnerstëtzung kann mat méi Rou benotzt ginn.
An der Welt vun der Präzisiounsbearbechtung bestëmmen d'Detailer Erfolleg oder Echec. D'Materialkonsistenz vum Granitbasis ass e Schlësselelement fir Genauegkeet ze garantéieren a Käschten ze reduzéieren. Déi nächst Kéier wann Dir Ausrüstung auswielt, vergiesst dëst "klengt Detail" net nach eng Kéier!
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 17. Juni 2025