An der präziser Kette vun der Hallefleederproduktioun ass de Wafer-Transfersystem wéi d'"Liewenslinn vun der Chip-Produktiounslinn", a seng Stabilitéit a Genauegkeet bestëmmen direkt d'Ausbezuelungsquote vun de Chips. Déi nei Generatioun vu Wafer-Transfersystemer kombinéiert revolutionär Linearmotoren mat Granitbasen, an déi eenzegaarteg Virdeeler vu Granitmaterialien sinn genee de Kärcode fir eng héich performant Iwwerdroung ze schafen.
Granitbasis: Bau vun enger "fielsfester Basis" fir eng stabil Iwwerdroung
Granit, nodeems et Honnerte vu Millioune Joer geologesch Verfeinerung duerchgemaach huet, weist eng dicht an eenheetlech intern Mineralkristalliséierung op. Dës natierlech Charakteristik mécht et zu engem ideale Basismaterial fir Wafer-Transfersystemer. Am komplexen Ëmfeld vun Hallefleeder-Cleanrooms kann de Granit, mat sengem ultra-niddrege Koeffizient vun der thermescher Ausdehnung (nëmmen 5-7 × 10⁻⁶/℃), der Hëtzt widderstoen, déi beim Betrib vun den Apparater entsteet, an dem Afloss vun Ëmwelttemperaturännerungen, wouduerch d'Stabilitéit vun der Basisgréisst garantéiert gëtt an d'Ofwäichung vum Transmissiounswee, déi duerch thermesch Deformatioun verursaacht gëtt, vermeit gëtt. Seng aussergewéinlech Schwéngungsdämpfungsleistung kann déi mechanesch Schwéngungen, déi beim Start, Ausschalten an der Beschleunigung vu Linearmotoren entstinn, séier absorbéieren, souwéi déi extern Stéierungen, déi duerch de Betrib vun aneren Apparater an der Werkstatt entstinn, wouduerch eng stabil Plattform mat "Null Shake" fir d'Wafer-Transmissioun geséchert gëtt.
Mëttlerweil garantéiert déi chemesch Stabilitéit vum Granit, datt en a Hallefleederatelieren net korrodéiert oder roscht, wou Säure- a Basalreagenzien flüchteg sinn an eng héich Rengheet erfuerderlech ass, sou datt den Impakt op d'Iwwerdroungsgenauegkeet duerch Materialalterung oder Schadstoffadsorptioun vermeit gëtt. Déi glat an dicht Uewerflächeeegeschafte kënnen d'Staubhaftung méi effektiv reduzéieren, doduerch déi streng staubfräi Standarden vu proppere Raim erfëllen an de Risiko vun der Waferkontaminatioun vun der Wuerzel eliminéieren.
Den Effekt vun der "gëllener Partnerschaft" vu Linearmotoren a Granit
Linearmotoren, mat hiren Eegeschafte vun ouni mechaneschem Transmissiounsspillraum, héijer Beschleunigung an héijer Reaktiounsgeschwindegkeet, ginn dem Wafer-Transmissioun d'Virdeeler vun "schnell, präzis a stabiler". D'Granitbasis bitt eng solid a verlässlech Ënnerstëtzungsplattform dofir. Déi zwee schaffen zesummen fir e Sprong an der Leeschtung z'erreechen. Wann de Linearmotor de Waferträger op der Granitbasisbunn dréit, garantéieren déi staark Steifheet a Stabilitéit vun der Basis eng effizient Iwwerdroung vun der Undriffskraaft vum Motor, wouduerch Kraaftverloscht oder Transmissiounsverzögerung duerch Basisdeformatioun vermeit ginn.
Ënnert dem Bedarf u Präzisioun an der Nanoskala kënne Linearmotoren eng Verrécklungskontroll op Submikrometerniveau erreechen. Déi héichpräzis Veraarbechtungseigenschaften vu Granitbasen (mat Flaachheetsfehler, déi bannent ±1μm kontrolléiert ginn) passen perfekt zu der präziser Kontroll vu Linearmotoren a garantéieren zesummen, datt de Positionéierungsfehler während der Waferiwwerdroung manner wéi ±5μm ass. Egal ob et sech ëm en Héichgeschwindegkeetswiessel tëscht verschiddene Prozessausrüstung oder e präzise Parking fir d'Waferiwwerdroung handelt, d'Kombinatioun vu Linearmotoren a Granitbasen kann "Null Ofwäichung a Null Jitter" bei der Waferiwwerdroung garantéieren.
Verifizéierung vun der Branchenpraxis: Duebel Verbesserung vun der Effizienz an dem Rendementsquote
Nodeems e féierend globalt Hallefleiterunternehmen säi Wafer-Transfersystem moderniséiert huet, huet et eng Linearmotor-+Granitbasis-Léisung agefouert, déi d'Wafer-Transfereffizienz ëm 40% erhéicht huet, d'Optriede vu Feeler wéi Kollisioun an Offset während dem Transferprozess ëm 85% reduzéiert huet an d'Gesamtausgab vun de Chips ëm 6% verbessert huet. Hannert den Donnéeën läit d'Garantie vun der Transmissiounsstabilitéit, déi duerch d'Granitbasis gebueden gëtt, an den héije Geschwindegkeets- a präzise Synergieeffekt vum Linearmotor, wat de Verloscht a Feeler am Wafer-Transmissiounsprozess däitlech reduzéiert.
Vu Materialeegeschafte bis zur Präzisiounsfabrikatioun, vu Leeschtungsvirdeeler bis zur praktescher Verifizéierung, d'Kombinatioun vu Linearmotoren a Granitbasen huet d'Standarden vu Wafertransfersystemer nei definéiert. An der Zukunft, wann d'Halbleitertechnologie sech op 3nm- an 2nm-Prozesser virukënnt, wäerten Granitmaterialien sécherlech weiderhin e staarken Impuls an d'Entwécklung vun der Industrie mat hiren onverzichtbare Virdeeler bréngen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 14. Mee 2025